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Dummy metal considering the quality factor of the inductor in CMOS semiconductor

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  • 발행기관
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  • 간행물
    선문효정학술연구회 학술대회 프로시딩 바로가기
  • 통권
    Proceedings of THE 1st INTERNATIONAL CONFERENCE OF HYOJEONG ACADEMY 2023 (2023.01)바로가기
  • 페이지
    pp.123-126
  • 저자
    Ji-Woo Jung , Jin-Uk Yeon , Hyo-Jee Choi , Inn-Yeal Oh
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A488983

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원문정보

초록

영어
Adding dummy metal is essential to secure a stable process for semiconductors. However, the dummy metal affects the RF characteristics so that the required characteristics are not obtained, so a design to prepare for them is required. In particular, the dummy metal around the inductor that determines the RF characteristics is a factor that prevents the characteristics of devices using the inductor. This paper aims to present a stable dummy metal implementation around an inductor that is essential by examining the characteristics of the inductor by analyzing the change of inductance due to the leakage current and parasitic capacity influencing the dummy metal structure. If the previous studies focused on the layer below the layer where the inductor is implemented, this paper analyzed and presented the dummy metal structure around the inductor. In the analysis, it was judged based on the inductance and quality-factor values of the inductor.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Statement of Contribution/Experimental/Methods
2.1 Simulation
3. Results, Discussions, and Conclusion
Acknowledgement
References

키워드

High Q Inductor dummy metal loss semiconductor parasitic component fabrication

저자

  • Ji-Woo Jung [ Dept. of Adv. Automotive Eng., Sunmoon Univ. ]
  • Jin-Uk Yeon [ Dept. of Adv. Automotive Eng., Sunmoon Univ. ]
  • Hyo-Jee Choi [ Dept. of Adv. Automotive Eng., Sunmoon Univ. ]
  • Inn-Yeal Oh [ Dept. of Adv. Automotive Eng., Sunmoon Univ. ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    선문효정학술연구회 [Sun Moon Hyojeong Academy Society]
  • 설립연도
    2023
  • 분야
    복합학>학제간연구
  • 소개
    Journal of Hyojeong Academia aims to serve as a global platform where researchers and scholars of various disciplines can contribute ideas for our sustainable global community of Co‐existence, Co‐prosperity, and Co‐righteousness. The journal is a multidisciplinary, open‐access, internationally peer‐reviewed academic journal, and it invites all areas of research conducted in the spirit of post materialism including studies centering on God, studies unifying religions and sciences, and studies on all aspects of Co‐existence, Co‐prosperity, and Co‐righteousness.

간행물

  • 간행물명
    선문효정학술연구회 학술대회 프로시딩
  • 간기
    반년간
  • 수록기간
    2023~2026
  • 십진분류
    KDC 238 DDC 289

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