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Deposition and XPS Study of Pb, Zr, and Ti Films

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제7권 3호 (2014.09)바로가기
  • 페이지
    pp.183-187
  • 저자
    Sujin Choi, Juyun Park, Eunkang Jeong, Beob jun Kim, Seo yoon Son, Jeong min Lee, Jin seong Lee, Hee jin Jo, Jihun Park, Yong-Cheol Kang
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A231934

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원문정보

초록

영어
Lead zirconate titanate (PZT) is significant material in electrical and optical devices for their ferroelectric, piezoelectric and dielectric properties. In this research, PZT films were fabricated by reactive RF co-sputtering method using Pb, Zr, and Ti targets. From XPS study, lead, zirconium, and titanium are successfully deposited on Si(100) substrate. Thickness of PZT films was measured with a surface profiler and the thickness was decreased as the oxygen gas ratio increased in the sputter gas.

목차

Abstract
 1. Introduction
 2. Experimental Section
 3. Results and Discussion
  3.1. Optimization
  3.2. Deposition of PZT Films
 4. Conclusions
 Acknowledgements
 References

키워드

XPS Lead Zirconate Titanate Sputter Ferroelectric

저자

  • Sujin Choi [ Department of Chemistry, Pukyong National University, 45 Yongso- Ro, Nam-Gu, Busan 608-737, South Korea ]
  • Juyun Park [ Department of Chemistry, Pukyong National University, 45 Yongso- Ro, Nam-Gu, Busan 608-737, South Korea ]
  • Eunkang Jeong [ Department of Chemistry, Pukyong National University, 45 Yongso- Ro, Nam-Gu, Busan 608-737, South Korea ]
  • Beob jun Kim [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Seo yoon Son [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Jeong min Lee [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Jin seong Lee [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Hee jin Jo [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Jihun Park [ Busan IL Science High School, 242 Jeseok-Ro, Saha-Gu, Busan 604- 828, South Korea ]
  • Yong-Cheol Kang [ Department of Chemistry, Pukyong National University, 45 Yongso- Ro, Nam-Gu, Busan 608-737, South Korea ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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