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LP-Thermal MOCVD 방법을 이용한 SnO2 박막의 증착 시간에 따른 특성
The Characteristic of SnO2 Thin Films Grown by LP-Thermal MOCVD
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- 발행기관
- 조선대학교 기초과학연구원 바로가기
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- 간행물
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 바로가기
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- 통권
- 제1권 1호 (2008.06)바로가기
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- 페이지
- pp.54-57
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A153817
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원문정보
초록
- 영어
- This report examines the variation on structural properties of SnO2 thin films .TEM studies shows some of the interfaces to be atomically faceted. Secondary X-ray photoelectron Spectroscopy Analysis(XPS) depth profiles show that films have a uniform composition along the depth.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
키워드
Morpholgy SnO2 Thin films CVD sensor저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
- 설립연도
- 2008
- 분야
- 자연과학>자연과학일반
- 소개
- 본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업
간행물
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- 간행물명
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
- 간기
- 계간
- pISSN
- 2005-1042
- 수록기간
- 2008~2025
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 405 DDC 505
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