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포지티브 포토레지스트의 감도 증진을 위한 산증식제로 1-Hydroxy-4-tosyloxy cyclohexane과 1,4-Ditosyloxy cyclohexane에 관한 연구
1-Hydroxy-4-tosyloxy cyclohexane and 1,4-Ditosyloxy cyclohexane as Acid Amplifiers To Enhance the Photosensitivity of Positive-Working Photoresists
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- 발행기관
- 한국인쇄학회 바로가기
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- 간행물
- 한국인쇄학회지 바로가기
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- 통권
- 제20권 제1호 (2002.03)바로가기
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- 페이지
- pp.91-101
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A137134
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원문정보
초록
- 영어
- An acid amplifier is defined as an acid-generating agent which is decomposed autocatalytically to produce new strongly acidic molecules in a non-liner manner, The addition of the acid amplifiers to conventional chemically amplified photoresists consisting of photoacid generators and acid-sensitive polymers result in the improvement of photosensitivity due to the amplified generation of catalytic acid molecules as a result of the decomposition of acid amplifiers. We synthesized and evaluated 1-hydroxy-4-tosyloxy cyclohexane(AA-1) and 1,4-ditosyloxy cyclohexane(Ah-2) as novel acid amplifiers. The acid amplifiers(AA-1, AA-2) showed reasonable thermal stability for resist processing temperature. As estimated by the sensitivity curve, tort-butyl methacrylate homopolymer(ptBMA) film doped with AA-1 or 2 exhibited much higher photosensitivity than ptBMA film without AA-1 or 2. And AA-1 showed higher effect than AA-2 on enhancing photosensitivity of ptBMA film.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
2-1. 시약 및 분석기기
2-2. 산 증식제(AA)의 합성
3. 결과 및 고찰
3-1. 용해도 성질
3-2. 산 증식제(AA)의 열적 성질
3-3. AA-1과 2를 첨가한 ptBMA Film의 열적 성질
3-4. 감도 특성
4. 결론
참고문헌
저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국인쇄학회 [THE KOREAN GRAPHIC ARTS COMMUNICATION SOCIETY]
- 설립연도
- 1983
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 한국인쇄학회는 사회 일반의 이익과 인쇄 관련 기초과학, 재료, 응용에 관한 학문 및 기술의 체계화를 도모하고 다음의 사업을 행하여 인쇄산업분야의 발전에 기여함을 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국인쇄학회지 [JOURNAL OF THE KOREAN GRAPHIC ARTS COMMUNICATION SOCIETY]
- 간기
- 연간
- pISSN
- 1226-1149
- 수록기간
- 1983~2025
- 십진분류
- KDC 586 DDC 686
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