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마이크로패턴 센서의 높은 검출효율을 위한 최대 인가전압과 우수한 공간분해능을 구현하기 위해 양극선과 음극선 간격의 최소화 연구가 진행되어 왔다. 본 연구에서는 마이크로패턴 센서의 수명과 효율에 치명적 손상을 초래하는 전자 사태 영역에서의 전기장 강화의 한계점과 인가전압에 의한 양극선과 음극선 주위의 등전위선, 전기장선, 그리고 전기장 의 세기를 전기장 시뮬레이션 프로그램(MAXWELL)을 사용하여 분석하였다. 이 연구로부터 전하수집 능력을 저하시키 며 미세한 전극 간의 전기장을 교란시킴으로 인해 검출효율의 불안정과 스파크현상을 초래시켜 마이크로 센서의 동작 수명을 손상시키는 불감영역(dead zone)이 존재함을 고찰하였다.

In this work, we present studies of the behavior of signal gain with regard to drift field intensity, anode voltage, drift voltage, different geometry pitches, electric potential field around cathode-anode strips, and several operating parameters for the sensor operatings. Moreover, the estimates of limits of electrical discharge energies are also presented based on the simulation results to explain electrostatic field distortion by surface charging. From the test results, the dead zone provided a field distortion, a relatively long charge collection time and hence loss of rate capability.

This paper presents a study into pH Indicator-Embedded hydrogel micro-particles which are encoded various shapes according to the captured indicator. We incorporate various pH indicators into a photo-curable hydrogel, PEG-DA(Poly(ethylene glycol) diacrylate). Using the latest fluidic lithography techniques, we can easily fabricate variously patterned hydrogel particles based on in-situ photopolymerization of the PEG-DA in a micro-fluidic channel. The shape of the particle is related to the pH indicator inside the particle. We demonstrate that the micro pH sensors change their colors according to the pH levels. The micro pH sensors have various characteristics that are related to the curing time, particle size, etc. By changing these conditions, we can adjust the long term stability and reaction time of the hybrid micro pH sensors.

이 연구에서는 마이크로 그리드 패턴 표면을 갖는 탄소 분말이 첨가된 Poly-dimethylsiloxane (PDMS)를 사용하여 전기용량형 압력센서(Piezocapacitive Sensor)를 제작하였다. 탄소 분말과 그리드 패턴이 센서의 성능에 미치는 효과를 알아보기 위해 탄소 분말의 농도와 그리드 패턴의 밀도를 달리하여 여러 개의 센서를 제작하였다. 센서의 작동 범위와 민감도를 척도로 센서의 성능을 비교하였다.

In this research, a capacitive pressure sensor (Piezocapacitive Sensor) was fabricated using carbon black powder containing poly-dimethylsiloxane (PDMS) with micro-grid patterned surface. To investigate the effect of carbon black powder and micro-grid pattern on the sensor's performance, various sensors were fabricated with different carbon black powder concentration and grid pattern density. The performances of the developed sensors were compared in terms of operating range and sensitivity.