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현재 마이크로 LED (Light Emitting Diode)는 디스플레이와 함께 조명 분야에서 관심을 받고 있으며, 높은 휘도, 빠른 동작 속도, 에너지 효율, 오랜 시간 동작 등의 장점을 가지고 있다. 스마트폰, 텔레비젼, 웨어러블 전 자소자 등에서 새로운 혁신을 불러올 것으로 예측된다. 이러한 마이크로 디스플레이는 마이크로미터 크기의 LED 소 자들로 이루어진 픽셀로 구현되며, 자체적으로 빛을 내는 자체발광형 디스플레이다. 주요 제조 공정으로는 결정성장, 패터닝과 식각, 칩 분리와 전사, 본딩과 배선, 패널 조립과 봉지, 검사와 품질 관리 등으로 구분할 수 있다. 최근 몇 년 동안 이 기술은 빠른 속도로 발전했으며, 기업들이 이러한 분야에의 투자를 확대하고 있다. 최신 시장 조사 결과 에 의하면, 마이크로 LED 디스플레이 시장은 지속적으로 성장할 것으로 관측되고 있으며, 주요 발전 방향은 제조 공정 개선, 소재 혁신, 구동 기술 발전 등으로 요약할 수 있다. 이러한 연구를 통해 상용화가 가속화되어 높은 성능 과 다양한 응용 가능성으로 디스플레이 산업의 혁신을 이끌 것이라 판단된다.

Currently, micro LEDs (Light Emitting Diode) are attracting attention in the lighting field along with next-generation displays and have advantages such as high luminance, operating speed, energy efficiency, and long-term driving. It is predicted to bring new innovations in smartphones, televisions, and wearable electronic devices. These micro displays are self-luminous displays that emit light by themselves by being implemented as pixels composed of micrometer-sized LED devices. The main manufacturing processes can be divided into crystal growth, patterning and etching, chip separation and transfer, bonding and wiring, panel assembly and encapsulation, inspection, and quality management. Recently, this technology has developed at a rapid pace, and companies are expanding their investments in these fields. According to recent market research results, the micro LED display market is expected to continue to grow, and the main development direction of development can be summarized as manufacturing process improvement, material innovation, and driving technology development. It is believed that commercialization will accelerate through these studies and lead to innovation in the display industry with high performance and various application possibilities.

본 연구에서는 최근 반도체 및 display 산업이 발달함에 따라 문제가 되고 있는 휘발성 유기화합물의 전처리에 관해 조사하였다. 일반적인 VOCs 처리 설비인 직접연소장치에 사용되는 농축기는 display 제조 공정 내 배출가스에 의해 쉽게 오염되어 성능저하를 일으키며 결과적으로 VOCs의 처리 효율을 떨어뜨린다. 배출가스 성분 분석 결과 고비점, 고점도, 고분자량의 Alcohol류 및 Oil 성분이 다량 검출되었다. 이에 전처리 설비 내 열교환기를 이용하여 농축기 성능저하 물질을 응축시켜 처리하고자 하였고, 대부분의 물질을 90% 이상 처리하였다. 또한 열교환기에서 재 비산되는 고분자 Oil 등은 후처리 설비로 Grease Filter를 장착하여 대부분 처리할 수 있는 것으로 확인되었다.

In this study, we investigated the pretreatment technologies of volatile organic compounds (VOCs) which is a problem as the semiconductor and display industry develops recently. The conventional concentrator used in the direct combustion system, is easily contaminated by the exhaust gas in the manufacturing process of the display, resulting in the low treatment efficiency of generated VOCs. Physical/Chemical analyses of the exhaust gas showed high boiling point and viscosity in addition to a large amount of molecular weight alcohols and oil components. In this study, we tried to treat degrading materials by using the heat exchanger in a pretreatment facility and some materials degrading the concentrator were condensed more than 90%. In addition, it was also confirmed that an auxiliary device of the grease filter could remove the redispersion polymer oil from the heat exchanger.

This machine is a high-vacuum exhaust sealing device which makes the inside of PDP element in high vacuum state, blows inactive gases into it and finally seals it. This machine consists of vacuuming parts, heating parts and exhausting parts. Applying the energy saving technology, this machine improves the temperature uniformity of vacuuming and heating parts.