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Fabrication of Silicon on Insulator (SOI) Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography for the Application to Bioelectronic

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  • 발행기관
    한국생물공학회 바로가기
  • 간행물
    한국생물공학회 학술대회 바로가기
  • 통권
    2008 추계학술대회 및 국제심포지움 (2008.10)바로가기
  • 페이지
    pp.111-111
  • 저자
    D. S. Choi, J. H. Lee, D. Y. Kang, H. S. Kim, J. H Choi, J. W.Choi, B. K.Oh
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A99195

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원문정보

초록

영어
Nanoimprint lithography (NIL) is one of the most promising technologies to fabricate nanopattern on solid substrate because of its several advantages such as resolution, reliability, and process speed, compared to conventional lithography. By using NIL, nano-scale to micro-scale nanostructures was fabricated on large scale silicon on insulator (SOI) plate at mild condition. The fabricated nanowire patterns were characterized by FE-SEM. An antibody was immobilized on the fabricated nanowire pattern, which has affinity for target molecule of interest. And then target molecules were detected by analyzing the change of nanowire conductance using semiconductor parameter analyzer. In this study, the proposed NIL technique can be useful as a method for the fabrication of nanoscale biosensor.
Acknowledgments: This research was supported by the Core Environmental Technology Development Project for Next Generation funded by the Ministry of Environment of Korea, and by Nuclear R&D program through the Korea Science and Engineering Foundation (KOSEF) funded by the Ministry of Education, Science and Technology (MEST) of Korea (Grant No. M20706010003-08M0601-00310)

저자

  • D. S. Choi [ Department of Chemical and Biomolecular Engineering, SogangUniversity ]
  • J. H. Lee [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology ]
  • D. Y. Kang [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology ]
  • H. S. Kim [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology ]
  • J. H Choi [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology ]
  • J. W.Choi [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, SogangUniversity ]
  • B. K.Oh [ Interdisciplinary Program of Integrated Biotechnology, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, SogangUniversity ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국생물공학회 [The Korean Society for Biotechnology and Bioengineering]
  • 설립연도
    1984
  • 분야
    공학>생물공학
  • 소개
    이 법인은 생물 공학의 발전과 보급에 이바지하고, 회원 상호 간의 연구 협력과 친목을 도모함을 목적으로 한다 1. 생물공학 분야의 발전을 위한 연구 협력 2. 생물공학의 실용화를 촉진시키기 위한 산학 협동 3. 학술연구 발표회, 강연회, 연수회 등 학술활동의 개최 4. 국,영문 학술지,소식지,학술회의 Proceedings 및 학술도서의 발간 5. 생물공학 발전을 위한 정책 건의 6. 기타 국제 교류 등 본 학회의 목적 달성을 위한 제반 활동

간행물

  • 간행물명
    한국생물공학회 학술대회
  • 간기
    반년간
  • 수록기간
    1985~2013
  • 십진분류
    KDC 476 DDC 576

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