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<학술연구>
마이크로 비커스 경도를 이용한 알루미늄 박막 경도에 대한 연구
A Study on the Intrinsic Hardness of Aluminum Thin Films Using Micro-Vickers Hardness
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) 바로가기
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- 통권
- 2026년도 한국기계기술학회 동계학술대회 (2026.01)바로가기
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- 페이지
- pp.61-62
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A488584
원문정보
초록
- 영어
- The use of thin-film materials with micro- or nano-scale thickness has been increasingly adopted in the semiconductor materials field. Sputtering, a physical vapor deposition (PVD) technique, is widely utilized in various industrial applications as it employs plasma under vacuum conditions to transfer target materials onto substrate surfaces, thereby forming thin-film coatings. Owing to their significantly reduced thickness compared to bulk materials, thin films often exhibit mechanical properties that differ markedly from those of conventional materials. Consequently, an accurate evaluation of thin-film mechanical properties requires a thorough understanding of the substrate on which the films are deposited. In this study, aluminum (Al) thin films with thicknesses of up to 1000nm were deposited onto silicon wafer (Si-wafer) substrates using a sputtering system. The mechanical properties of the deposited thin films were evaluated through micro-Vickers hardness testing under various applied load conditions.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
2.1 시편제작
3. 마이크로비커스 경도 측정
4. 결론
References
저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) [Proceedings of KSMT Annual Meeting]
- 간기
- 부정기
- 수록기간
- 2000~2026
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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