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<생산기술>
반도체 FOPLP용 메탈 캐리어의 표면 검사장비 개발
Development of Surface Inspection Equipment for Metal Carrier for Semiconductor FOPLP
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제28권 제1호 (2026.02)바로가기
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- 페이지
- pp.157-160
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A481861
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원문정보
초록
- 영어
- The FOPLP method, which uses a square metal carrier to arrange semiconductor chips, offers significantly superior productivity and efficiency compared to conventional processes. However, metal carriers are prone to warping, dents and scratches due to thermal deformation, making surface inspection and correction work essential. Therefore, this study designed and fabricated a gantry guide capable of mounting an indicator and a vision module to effectively inspect the metal carrier surface and improve quality, then evaluated its performance. In the experiment, the gantry system’s performance was verified by evaluating its repeatability precision, and the vision module ensured data reliability through precision at four different magnifications.
목차
Abstract
1. 서론
2. 측정 장치의 설계 및 개발
3. 실험 결과 및 고찰
3.1 갠트리 가이드의 정밀도
3.2 비전 시스템 신뢰성 시험
4. 결론
후기
References
키워드
팬아웃 패널 레벨 패키징 메탈 캐리어 갠트리 가이드 비전 모듈 FOPLP Metal carrier Gantry guide Vision module저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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