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다종 웨이퍼 Probe Test 데이터의 통합 파싱 및 고속 시각화를 위한 분석 시스템 개발
Development of an Analysis System for Integrated Parsing and High-Speed Visualization of Multi-Type Wafer Probe Test Data

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  • 발행기관
    국제차세대융합기술학회 바로가기
  • 간행물
    차세대융합기술학회논문지 KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제10권 2호 (2026.02)바로가기
  • 페이지
    pp.663-672
  • 저자
    정동수, 정명희, 한기봉
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A480710

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원문정보

초록

영어
The Wafer Probe Test (P-Test) is a critical process in semiconductor manufacturing that validates the electrical characteristics and functional anomalies of individual dies at an early stage. It provides essential baseline data for yield management and process stability analysis. However, P-Test data—including EDS, PCM, Tox, RS, and Defect Maps—are generated in heterogeneous file formats and structures, creating significant limitations for integrated analysis within existing frameworks. In particular, STDF-based EDS files cause analysis delays due to their structural complexity and large volume. To address these issues, this study aims to improve the efficiency and real-time capabilities of process data analysis by developing a system that integrates and processes multi-type P-Test data in a single environment, while simultaneously providing visualization and high-speed analysis.
한국어
웨이퍼 프로브 테스트는 반도체 제조 공정에서 개별 다이의 전기적 특성과 기능적 이상 여부를 공정 초 기 단계에서 검증하는 핵심 검사 공정이다. 이를 통해 수율 관리와 공정 안정성 분석에 필요한 중요한 기준 데이 터를 확보할 수 있다. 그러나 웨이퍼 프로브 테스트 데이터는 서로 이질적인 파일 형식과 구조로 생성되어, 기존 분석 프레임워크 내에서 통합 분석을 수행하는 데 큰 제약이 있다. 특히 STDF 기반의 EDS 파일은 구조가 복잡 하고 데이터 규모가 커 분석 지연을 유발한다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 연구는 다양한 유형의 웨이퍼 프 로브 테스트 데이터를 단일 환경에서 통합 및 처리할 수 있는 시스템을 개발하고, 동시에 시각화 및 고속 분석 기 능을 제공함으로써 공정 데이터 분석의 효율성과 실시간성을 향상시키는 것을 목표로 한다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시스템 설계 및 구현
2.1 다종 P-검 데이터 구조 해석
2.2 Wafer Defect Analyzer UI 구성
Ⅲ. 실험 환경 및 성능 평가 방법
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
REFERENCES

키워드

프로브 테스트 다이 전기적 검사 데이터 통합 공정 수율 관리 고속 분석 Probe Test Die-level electrical test Data integration Process yield management High-speed analysis

저자

  • 정동수 [ Dong Soo Jung | 시아이솔루션 대표이사 ]
  • 정명희 [ Myung Hee Jung | 중원대학교 사회복지학과 교수 ]
  • 한기봉 [ Ki Bong Han | 중원대학교 무인항공기계학과 교수 ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    국제차세대융합기술학회 [International Next-generation Convergence technology Association]
  • 설립연도
    2017
  • 분야
    복합학>기술정책
  • 소개
    Ever since next generation convergence technology became one of the most important industries in the nation, computing professionals have encountered a growing number of challenges. Along with scholars and colleagues in related fields, they have gathered in avariety of forums and meetings over the last few decades to share their knowledge, experiences and the outcome of their research. These exchanges have led to the founding of the International Next-generation Convergence technology (INCA) on December 1, 2015. INCA was registered as an incorporated association under the Ministry of Information and Communications. The main purpose of the organization is to improve our society by achieving the highest capability possible in next generation convergence technology.

간행물

  • 간행물명
    차세대융합기술학회논문지 [The Journal of Next-generation Convergence Technology Association]
  • 간기
    월간
  • pISSN
    2508-8270
  • 수록기간
    2017~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 506 DDC 606

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