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CMOS 공정 기반 산화하프늄 초박막 도파로 제작 및 광 전파 특성 연구

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  • 발행기관
    한국정보통신설비학회 바로가기
  • 간행물
    한국정보통신설비학회 학술대회 바로가기
  • 통권
    한국정보통신설비학회 2025 하계학술대회 (2025.08)바로가기
  • 페이지
    pp.71-72
  • 저자
    권승주, 김환, 김사무엘, 백규인, 정영준, 이명재
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A474518

원문정보

목차

I. 서론
II. 본론
1. CMOS 공정 기반 HfO2 초박막 도파로 제작
2. 도파로 특성 변수 조절에 따른 초박막 도파로의광 전파 특성 분석
III. 결론
감사의 글
참고문헌

저자

  • 권승주 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ]
  • 김환 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ]
  • 김사무엘 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ]
  • 백규인 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ]
  • 정영준 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ]
  • 이명재 [ 서울대학교 공과대학 재료공학부 ] 교신저자

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국정보통신설비학회 [Korea Institute of Information & Telecommunication Facilities Engineering]
  • 설립연도
    2001
  • 분야
    공학>전자/정보통신공학
  • 소개
    한국 정보통신 시설 및 설비에 대한 대학, 연구기관, 공공기관, 산업체 등의 관련자들의 연구활동을 통하여 학문적, 이론적 체계 확립과 구현 기술의 보편화를 이룩함으로써 한국 정보통신산업의 발전에 기여하고, 회원 상호간 학문적 발전의 도모를 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국정보통신설비학회 학술대회
  • 간기
    반년간
  • 수록기간
    2002~2025
  • 십진분류
    KDC 567 DDC 621

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