Plasma-wet스크러버의 공정타입별 과불화화합물의 저감효율 및 부생가스 발생비율
Decomposition Removal Efficiency and By-product Gas Generation Rate of Perfluorinated Compounds by Process Type of Plasma-wet Scrubber
국문요약 ABSTRACT I. 서론 II. 연구내용 및 방법 2.1 Plasma-wet 스크러버 구성 2.2 실험 장치 및 조건 2.3 데이터 분석 2.4 PFCs 처리 및 재결합 반응 III. 결과 및 고찰 3.1 E 타입에서 PFCs의 처리 3.2 WF 타입에서 PFCs의 처리 3.3 타입별 PFCs의 저감효율 3.4 부생가스 발생 비율 IV. 결론 감사의 글 참고문헌