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<생산기술>
반도체 AMC 모니터링용 샘플링 테스트 모듈에 관한 연구
A Study on Sampling Test Module for Semiconductor AMC Monitoring
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제25권 제5호 (2023.10)바로가기
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- 페이지
- pp.855-860
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A442267
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원문정보
초록
- 영어
- The sampling test module of the existing AMC Monitoring System is constructed using tubes and fittings, so there has been a problem with molecular contaminants remaining in the system. This study demonstrated how a new manifold-type sampling test module without connecting tubes and fittings, and with super-hydrophobic coating improves residual molecular contaminants in the AMC Monitoring System through CDA purge when molecular contamination occurs in a clean room with a Semiconductor Fabrication.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 본론
2.1 AMC Monitoring System
2.2 Sampling Test Module
2.3 연구 목적
3. 실험장비 및 방법
3.1 샘플링 매니폴드(Sampling Manifold)
3.2 실험 장비
3.3 실험 방법
4. 결과 및 고찰
4.1 암모니아(NH3) 테스트 결과
4.2 불화수소(HF) 테스트 결과
5. 결론
References
키워드
공기 중 분자 오염 공기 중 분자 오염 모니터링 시스템 샘플링 테스트 모듈 샘플링 매니폴드 분자 분석기 Airborne molecular contamination AMC monitoring system Sampling test module Sampling manifold Molecule analyzer저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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