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Striation of coated conductors by photolithography process

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  • 발행기관
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) 바로가기
  • 간행물
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) KCI 등재 SCOPUS 바로가기
  • 통권
    Vol.25 No.4 (2023.12)바로가기
  • 페이지
    pp.50-53
  • 저자
    Byeong-Joo Kim, Miyeon Yoon, Myeonghee Lee, Sang Ho Park, Ji-Kwang Lee, Kyeongdal Choi, Woo-Seok Kim
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A440937

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원문정보

초록

영어
In this study, the photolithography process was chosen to reduce the aspect ratio of the cross-section of a high-temperature superconducting (HTS) tape by dividing the superconducting layer of the tape. Reducing the aspect ratio decreases the magnetization losses in the second-generation HTS tapes generated by AC magnetic fields. The HTS tape used in the experiment has a thin silver (Ag) layer of about 2 ㎛ on top of the REBCO superconducting layer and no additional stabilizer layer. A dry film resist (DFR) was laminated on top of the HTS tape by a lamination method for the segmentation. Exposure to a 395 nm UV lamp on a patterned mask cures the DFR. Dipping with a 1% Na2CO3 solution was followed to develop the uncured film side and to obtain the required pattern. The silver and superconducting layers of the REBCO films were cleaned with an acid solution after the etching. Finally, the segmented HTS tape was completed by stripping the DFR film with acetone.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
2.1. REBCO 선재 제원
2.2. 선재 분할 과정
3. 분할된 선재의 표면 및 단면 분석 결과
4. 결론
ACKNOWLEDGMENT
REFERENCES

키워드

HTS coated conductor REBCO striation photolithography

저자

  • Byeong-Joo Kim [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ]
  • Miyeon Yoon [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ]
  • Myeonghee Lee [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ]
  • Sang Ho Park [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ]
  • Ji-Kwang Lee [ Woosuk University Jeollabuk-do, Korea ]
  • Kyeongdal Choi [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ]
  • Woo-Seok Kim [ Tech University of Korea Siheung, Gyeonggi, Korea ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) [The Korean Society of Superconductivity and Cryogenics (KSSC)]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    공학>전기공학
  • 소개
    21세기 핵심기술인 초전도공학과 저온공학분야의 기술 수준을 향상시키고, 선진 외국의 관련 학회와의 국제 교류 뿐만 아니라 이 분야에서 산.학.연의 학술활동 및 기술교류의 구심점으로의 그 역할을 성실히 수행하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) [Progress in Superconductivity and Cryogenics]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1229-3008
  • eISSN
    2287-6251
  • 수록기간
    1999~2025
  • 등재여부
    KCI 등재,SCOPUS
  • 십진분류
    KDC 427 DDC 537

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