Fabrication of Colored Material by Recycling Silicon Sludge from Semiconductor Dicing Process and its Application as Paints
반도체 다이싱 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지의 재활용을 통한 색상을 발현하는 도료 소재의 제조 및 응용
In this study, silicon sludge from semiconductor dicing process is coated with metal oxide and applied as coloring material for paints. In specific, metallic impurities in silicon sludge are removed by acid washing to prepare high-purity silicon powder. And then, as-obtained silicon powder is coated with titanium dioxide (TiO2) using a facile sol-gel method. The thickness of the TiO2 layer is controlled to express the colors of white and yellow. In practical application, the whiteand yellow-colored silicon powders are prepared in paint materials and applied to glass substrates. In addition the results of the color coordinate values in the CIE L*a*b* color space have verified the appearance of white and yellow colors. Accordingly, silicon sludge generated in the semiconductor dicing process is successfully recycled and applied as paint, which may suggest the possibility of effectively employing new materials for paints showing various colors.
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본 연구에서는 반도체 다이싱 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지에서 금속 산화물을 도입하여 도료 물질로 제조하였다. 상세히는, 실리콘 슬러지의 금속 불순물을 산처리를 하여 고순도의 실리콘 분말을 수득하고, 간단한 졸-겔법을 이용하여 이산화티타늄(TiO2)을 코팅하였다. 이산화티타늄의 코팅 층 두께를 조절하여 흰색과 노란색 물질로 제조하였다. 실제 응 용을 확인하기 위해 흰색과 노란색의 실리콘 분말을 도료 형태로 제조하여 유리 기판에 적용하였다, 추가적으로, CIE L*a*b* 색상 표현에서 좌표값의 결과로 흰색과 노란색 물질이 인식되었음을 확인하였다. 따라서 반도체 다이싱 공정에 서 발생하는 실리콘 슬러지를 성공적으로 재활용하였으며, 다양한 색상을 나타내는 새로운 도료 물질로 효과적으로 활용 될 수 있는 가능성을 제시하였다.
목차
Abstract 요약문 I. 서론 II. 연구 방법 1. 사용 시약 2. 금속 산화물을 도입하여 색상을 발현하는 도료 물질제조 3. 제조한 실리콘 슬러지 기반 도료 물질의 물리적 화학적 특성 분석 4. 제조한 실리콘 슬러지 기반의 도료 물질 색상 측정 III. 결과 및 고찰 1. 제조한 실리콘 슬러지 기반의 도료 물질에 대한 물리화학적 분석 2. 실리콘 슬러지 기반 도료 물질의 CIE L*a*b* 색상측정 IV. 결론 사사 References
한국도시환경학회 [The Korean Society of Urban Environment]
설립연도
2001
분야
공학>환경공학
소개
산업화와 도시 집중화 및 교통의 증가에 따른 각종 공해 물질의 증가에 의하여 우리들이 살고 있는 도시환경은 오염되고 있을 뿐만 아니라 도시 생태계가 파괴되어 가고 있다. 이에 따라 우리들의 생산활동이나 공공교통 그리고 일상생활에서 발생하는 대기오염, 수질오염, 토양오염, 폐기물, 소음 및 진동 그리고 그 밖의 오염원으로부터 발생되는 오염물질 등은 인간의 건강 및 생명에 유해하며 나쁜 영향을 미칠 수 있으므로 이를 방지하기 위한 시급한 대처가 요구된다.
이러한 시대적 요청에 따라 본 한국도시환경학회는 도시환경과 관련된 모든 문제를 조사연구함으로써 도시환경학문의 발전과 응용 및 보급에 기여하고 나아가 사회 발전에 이바지함을 목적으로 설립되었다.
간행물
간행물명
한국도시환경학회지 [Journal of the Korean Society of Urban Environment]