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학술연구

플라즈마 중합법으로 제작한 Styrene 절연막의 전하 포집에 대한 연구
A Study on Charge Storage Effect of Plasma Polymerized Styrene Thin Films

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제25권 제3호 (2023.06)바로가기
  • 페이지
    pp.388-393
  • 저자
    김희성, 신백균
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A433028

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원문정보

초록

영어
Plasma polymerized Styrene thin films were used as a memory layer in a memory device. As for the memory layer, a ppS thin films were used for the organic memory device and their charge storage characteristic was investigated comparatively, where the charge storage effect was evaluated by a hysteresis voltage. The organic memory device with ppS thin film of 30nm and 50nm as memory layer showed promising memory characteristics such as hysteresis voltage of 20V and 28V. The ppS revealed promising charge storage properties which confirms that an organic memory device without floating gate could be successfully implemented by using the ppS thin film as a memory layer.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
2.1 플라즈마 중합법
2.2 소자 제작
2.3 측정 방법
3. 실험 결과
3.1 ppS layer의 pressure에 따른 증착률
3.2 ppS layer 기판 bias에 따른 증착률
3.3 ppS layer의 두께에 따른 Hysteresis 비교
3. 결론
References

키워드

스타일렌 유기메모리 플라즈마중합법 Styrene Organic memory Plasma polymerization

저자

  • 김희성 [ Hee-Sung Kim | Professor, The Department of Electrical and Computer Engineering at Inha University ]
  • 신백균 [ Paik-Kyun Shin | Member, Professor, The Department of Electrical and Computer Engineering at Inha University ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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