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<학술연구>
입자법을 이용한 스크류젯의 성능 예측에 관한 연구
Study on the Performance Prediction of Screw Jet using Moving Particle System
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제24권 제6호 (2022.12)바로가기
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- 페이지
- pp.1199-1204
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A423489
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원문정보
초록
- 영어
- Screw jet equipment has been developed based on the existing accumulated experimental indicators in the semiconductor industry, and for specific performance development, it is necessary to visually check a process in which a high viscosity solution is discharged to a nozzle through a screw. Since the transparency of the exterior is not guaranteed after design and production due to the characteristics of the equipment, simulation must be performed to confirm the performance data according to the internal shape. Therefore, in this study, the screw jet equipment was simulated using the moving particle system, and through this, all processes of the screw jet internal solution flow were visually checked and computerized data capable of predicting the performance of the equipment was secured.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템 모델링
2.1 입자법(Moving Particle System)
2.2 해석 사례 및 조건 설정
3. 전산해석 결과
4. 결론
References
키워드
입자법 스크류젯 고점성 반도체 파티클웍스 Moving particle system Screw jet High viscosity Semiconductor Particleworks저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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