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<생산기술>
Programmable Power Supply 소자를 이용한 반도체검사용 장비 DC Parameter 측정에 관한 연구
A Study on DC Parameter Measurement of Equipment for Semiconductor Inspection using Programmable Power Supply Device
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제24권 제4호 (2022.08)바로가기
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- 페이지
- pp.739-743
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A416680
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원문정보
초록
- 영어
- In this study is a study to measure the section by voltage through the high integration of the circuit of the inspection equipment for the power supply circuit of semiconductor equipment. The experiment was conducted by increasing the -1.5∼4 voltage section by 0.5V. At this time, the tolerance was applied to ±0.1%+5mA. Although the voltage increased through the experiment, the accuracy of the measurement data did not change, and it was confirmed through this experiment that the null hypothesis(H0) was adopted in each section through the hypothesis test.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 본론
3. 실습장비 및 방법
3.1 실습장비
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References
키워드
전압입력-전류측정 전압입력 전압측정 전류측정 FVMI Force voltage Measure voltage Voltage measure저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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