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Dependence of superconductivity on the crystallinity of Nb films on Si wafers

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  • 발행기관
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) 바로가기
  • 간행물
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) KCI 등재 SCOPUS 바로가기
  • 통권
    23권 4호 (2021.12)바로가기
  • 페이지
    pp.1-5
  • 저자
    Joonyoung Choi, Chang-Duk Kim, Younjung Jo
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A407936

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원문정보

초록

영어
Among elemental metals, niobium (Nb) has the highest superconducting transition temperature (Tc) at ambient pressure. Thus, Nb films have been used in superconducting electronics and radio frequency cavity applications. In this study, the depositional factors determining the crystallinity and Tc of Nb films were investigated. An Nb film grown at a sputtering temperature of 240°C exhibited the maximum crystallinity of Nb and the minimum crystallinity of niobium oxide. X-ray photoelectron spectroscopy confirmed a maximum atomic percent of niobium and a minimum atomic percent of oxygen. A sputtering power of 210 W and a sputtering time of 50 min were the optimal conditions for Nb deposition, and the Tc of the optimized film (9.08 K) was close to that of bulk Nb (9.25 K). Transmission electron microscopy images of the thick film directly confirmed the removal of the typical in-plane compressive strain in the (110) plane caused by residual stress.

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENTAL
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENT
REFERENCES

키워드

critical fields critical temperature films niobium compounds sputtering superconducting material growth

저자

  • Joonyoung Choi [ Kyungpook National University, Daegu, Korea ]
  • Chang-Duk Kim [ Kyungpook National University, Daegu, Korea ] Corresponding Author
  • Younjung Jo [ Kyungpook National University, Daegu, Korea ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) [The Korean Society of Superconductivity and Cryogenics (KSSC)]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    공학>전기공학
  • 소개
    21세기 핵심기술인 초전도공학과 저온공학분야의 기술 수준을 향상시키고, 선진 외국의 관련 학회와의 국제 교류 뿐만 아니라 이 분야에서 산.학.연의 학술활동 및 기술교류의 구심점으로의 그 역할을 성실히 수행하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) [Progress in Superconductivity and Cryogenics]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1229-3008
  • eISSN
    2287-6251
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재,SCOPUS
  • 십진분류
    KDC 427 DDC 537

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