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<학술연구>

UV 나노 임프린트 리소그래피를 이용한 유무기 하이브리드 박막 위 액정 배향용 패턴 구조체 생성
Fabrication of Pattern Structures on a Organic-inorganic Hybrid thin Film Via UV Nanoimprint Lithography for Liquid Crystal Alignment

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제23권 제2호 (2021.04)바로가기
  • 페이지
    pp.294-299
  • 저자
    이주환
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A394067

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원문정보

초록

영어
Using UV nanoimprint lithography(UV-NIL), 1-dimensional(1-D) pattern structures were fabricated on a hybrid mixture thin film of lanthanum oxide and a UV-curable resin. 1-D pattern on a wafer fabricated by the laser interference lithography was transferred to polydimethylsiloxane and this is used as a mold of UV-NIL process. Conducting an X-ray photoelectron spectroscopy, C 1s and La 3d spectra were analyzed, and it was confirmed that hybrid thin film was successfully deposited on glass substrate. Also, transferred pattern structure was observed by using an atomic force microscopy. Through this, it was revealed that agglomerations between 1-D pattern were increased as UV irradiation time increased and this phenomenon disrupted the quality of NIL process. Additionally, liquid crystal(LC) cells with patterned hybrid thin films were fabricated and LC alignment performances were investigated. Using the polarizing optical microscopy and the crystal rotation method, LC alignment state and pretilt angles were observed. Consequently, the uniform homogeneous LC alignment was achieved at UV irradiation time of 1min and 3min where high resolution pattern transfer was observed.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

키워드

UV 나노임프린트 리소그래피 유무기 하이브리드 박막 나노패턴구조 광전자분광법 원자간력 현미경 UV nanoimprint lithography Organic-inorganic hybrid film Nano pattern structure X-ray photoelectron spectroscopy Atomic force microscopy

저자

  • 이주환 [ Ju Hwan Lee | Member, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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