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실리콘 산화물 패턴 공정을 통한 나노 사이즈 발광 구조 개발
Nano-sized Light Emitting Structure through Silicon Oxide Pattern Process

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  • 발행기관
    국제차세대융합기술학회 바로가기
  • 간행물
    차세대융합기술학회논문지 KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제4권 5호 (2020.10)바로가기
  • 페이지
    pp.495-500
  • 저자
    김제원
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A383397

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원문정보

초록

영어
In a light emitting diode-based semiconductor light source that is variously applied as a display light source, luminous efficiency is a very important optical property, and various research methods including multiple quantum wells have been proposed to increase the luminous efficiency. However, since the efficiency improvement is basically based on the planar structure, there was a limit to the improvement of optical properties. In this study, nano holes were formed through micro patterns and etching of silicon oxide, different from the conventional structure are proposed. In addition, it is possible to implement a nano sized columnar structure through nano holes of silicon oxide, and by depositing a light emitting layer on the nano structure, it is intended to present a semiconductor light source having a nano-sized light emitting structure.
한국어
디스플레이 광원으로서 다양하게 적용되고 있는 발광다이오드 기반의 반도체 광원에서 발광 효율은 매우 중요한 광학적 특징이며, 이러한 발광 효율 향상을 위하여 다중양자우물층을 포함하는 다양한 연구 방법이 제시되 어져 왔다. 하지만 이러한 효율 향상은 기본적으로 평면 구조에 기반을 두고 있음에 따라 광학적 특성 향상에 제 약이 되어 왔다. 본 연구에서는 실리콘 산화물의 미세 패턴과 이를 이용한 에칭을 통해 나노 홀을 형성하고자 하 였다. 또한, 실리콘 산화물의 나노 홀과 이를 통한 나노 크기의 원주형 구조를 구현할 수 있으며, 이러한 나노 원 주 구조에 발광층을 증착시킴에 따라 나노 크기의 발광 구조를 가지는 반도체 광원을 제시하고자 한다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과
3.1 실리콘 산화물 나노 패턴
3.2 균일한 나노 구조물 구현
3.3 나노 사이즈 발광층
Ⅳ. 결론
REFERENCES

키워드

나노 실리콘 산화물 에칭 광원 디스플레이 Nano Silicon Oxide Etching Light Source Display

저자

  • 김제원 [ Je Won Kim | 남서울대학교 정보통신공학과 교수 ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    국제차세대융합기술학회 [International Next-generation Convergence technology Association]
  • 설립연도
    2017
  • 분야
    복합학>기술정책
  • 소개
    Ever since next generation convergence technology became one of the most important industries in the nation, computing professionals have encountered a growing number of challenges. Along with scholars and colleagues in related fields, they have gathered in avariety of forums and meetings over the last few decades to share their knowledge, experiences and the outcome of their research. These exchanges have led to the founding of the International Next-generation Convergence technology (INCA) on December 1, 2015. INCA was registered as an incorporated association under the Ministry of Information and Communications. The main purpose of the organization is to improve our society by achieving the highest capability possible in next generation convergence technology.

간행물

  • 간행물명
    차세대융합기술학회논문지 [The Journal of Next-generation Convergence Technology Association]
  • 간기
    월간
  • pISSN
    2508-8270
  • 수록기간
    2017~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 506 DDC 606

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