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Investigation of Physicochemical Properties of Mo Carbide Utilizing Electron Spectroscopy

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제13권 3호 (2020.09)바로가기
  • 페이지
    pp.87-91
  • 저자
    Eunkang Jeong, Juyun Park, Yong-Cheol Kang
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A382682

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원문정보

초록

영어
Molybdenum carbide (MoCx) thin films (TFs) were deposited by reactive radio frequency (rf) magnetron co-sputtering in high vacuum chamber. We compared the properties of MoCx thin films as the rf power changed on C target. The result of alpha step measurement showed that the thickness of the MoCx TFs varied from163.3 to 194.86 nm as C power was increased from 160 to 200 W. The crystallinity of MoCx such as b-Mo2C, Mo2C, and diamond like carbon (DLC) structures were observed by XRD. The oxidation states of Mo and C were determined using high resolution XPS spectra of Mo 3d and C 1s were deconvoluted. Molybdenum was consisted of Mo, Mo4+, and Mo6+ species. And C was deconvoluted to C-Mo, C, C-O, and C=O species.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusion
References

키워드

Moc Thin film co-sputtering DLC XPS.

저자

  • Eunkang Jeong [ Department of Chemistry, Pukyong National University ]
  • Juyun Park [ Department of Chemistry, Pukyong National University ]
  • Yong-Cheol Kang [ Department of Chemistry, Pukyong National University ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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