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<학술연구>

그래핀 박막 및 타이타늄 기판을 적용한 고감도 마이크로 압력센서 개발
Development of High Sensitivity Micro Pressure Sensor Using Graphene Diaphragm and Titanium Substrate

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제22권 제2호 (2020.04)바로가기
  • 페이지
    pp.283-289
  • 저자
    이흥식
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A374260

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원문정보

초록

영어
In this research, a capacitance pressure sensor with graphene membrane and titanium substrate have been developed and studied as a potential robust substrate and a sensitive membrane material for micromachined devices. Mechanical lamination process combined with micromachining processes have been selected for the fabrication of the pressure sensor. Prior to the fabrication, capacitive pressure sensors based on a graphene diaphragm and titanium substrate have been designed. The fabricated pressure sensor uses a titanium substrate, a graphene film laminated with a floating movable plate, and a fixed surface micromachined back electrode of electroplated nickel. Finite element method is adopted to investigate the residual stresses formed in the process.Also, the out-of-plane strain is calculated under the pressure of the diaphragm. The sensitivity of devices manufactured using these techniques is 7.5 to 4 kPa-1, and the net capacitance change in the range of 0 to 180 kPa is 013 pF.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 제작 및 실험
3. 이론적 모델
4. 박막의 처짐 및 정전용량 측정
5. 유한요소 해석
6. 결과
7. 결론
후기
References

키워드

그래핀 타이타늄 압력센서 박막 유한요소법 Graphene Titanium Pressure sensor Thin film Finite element method

저자

  • 이흥식 [ H. S. Lee | Professor, Joongbu University ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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