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<학술연구>

Fabrication of Aligned Nano Patterns on HfZnO based on the Imprinting Method for Liquid Crystal Display
임프린팅법을 이용한 HfZnO 위의 정렬된 나노패턴 제작과 액정표시소자의 응용

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제21권 제3호 (2019.06)바로가기
  • 페이지
    pp.505-509
  • 저자
    Byeong-Yun Oh
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A356092

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원문정보

초록

영어
We demonstrate convenient alignment technologies using imprinting lithography with sol-gel process. The aligned nano pattern is fabricated on a silicon wafer by laser interference lithography. For conformal imprinting process, aligned nano pattern was transferred onto the polydimethylsiloxane (PDMS). Using a PDMS sheet with aligned nano pattern, aligned nano pattern was created onto the sol-gel driven hafnium zinc oxide by imprinting lithography. The process was conducted at annealing temperatures of 150 °C. The obtained pattern on the HfZnO film acted as a guide for aligning liquid crystal (LC) molecules. The geometric restriction induced by aligned pattern leads to LC alignment along to the aligned nano pattern. The combination of imprint lithography and solution-processed inorganic materials proved good alternative of LC alignment technique.

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experiments
3. Result and Discussion
4. Conclusion
References

키워드

임프린팅 법 하프늄징크옥사이드 액정표시장치 액정 배향 원자력 현미경 Imprinting method HfZnO Liquid crystals display Liquid crystal alignment Atomic force microscopy

저자

  • Byeong-Yun Oh [ 오병윤 | Member, BMC Co., Ltd., Gwangju 62074, Republic of Korea ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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