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초록

영어

This paper discusses recent trends in the fabrication of semiconducting materials among the components of thin film transistors used in AMOLED display. In order to obtain a good semiconductor film, it is necessary to change the amorphous silicon into polycrystalline silicon. There are two ways to use laser and heat. Laser-based methods include sequential lateral solidification (SLS), excimer laser annealing (ELA), and thin-beam directional crystallization (TDX). Solid phase crystallization (SPC), super grain silicon (SGS), metal induced crystallization (MIC) and field aided lateral crystallization (FALC) were crystallized using heat. We will also study research for manufacturing large AMOLED displays.

한국어

본 논문에서는 AMOLED 디스플레이 구동회로로 사용되는 박막트랜지스터의 구성요소 중에서 반도제 물질 제조의 최근 동향에 대해 논한다. 트랜지스터에 적용을 위해 특성이 좋은 반도체 막을 얻는 방법으로 비정질 실리콘을 다결정 실리콘 으로 변화시켜야 하는데 레이저와 열처리 방법이 있으며, 레이저를 이용한 기술에는 SLS(Sequential Lateral Solidification), ELA(Excimer Laser Annealing), TDX(Thin-beam Directional Crystallization), 열처리 기술에는 SPC(Solid Phase Crystallization), SGS(Super Grain Silicon), MIC(Metal Induced Crystallization), FALC(Field Aided Lateral Crystallization)가 대표적이며, 이들에 대해 상세히 설명한다. 본 연구실에서 연구중인 레이저 결정화 기술의 대형 AMOLED 디스플레이 제작을 위한 연구 내용도 다룬다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
2.1 결정화 방법 소개
2.2 레이저 결정화의 대형화 방안 (본 연구진의 핵심 연구내용을 중심으로)
3. 결론
REFERENCES

키워드

저자

• 김경보 [ Kyoung-Bo Kim | 인하공업전문대학 금속재료과 교수 ]
• 이종필 [ Jongpil Lee | 중원대학교 전기전자공학전공 교수 ]
• 김무진 [ Moojin Kim | 중원대학교 전기전자공학전공 교수 ] Corresponding author
• 민영실 [ Youngsil Min | 중원대학교 제약공학과 교수 ]

참고문헌

발행기관

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• 간행물명

  융합정보논문지(구 중소기업융합학회논문지) [Journal of Convergence for Information Technology]

• 간기

  월간

• pISSN

  2586-1816

• eISSN

  2586-4440

• 수록기간

  2011~2022

• 십진분류

  KDC 004 DDC 004