Earticle

초록

영어

In this work, we investigated a low temperature polycrystalline silicon (LTPS) thin film transistors fabrication process on polymer layers. Dehydrogenation and activation processes were performed by a furnace annealing at a temperature of 430 ℃ for 2 hr. The crystallization of amorphous silicon films was formed by excimer laser annealing (ELA) method. The p-type device performance, fabricated by polycrystalline silicon (poly-Si) films, shows a very good performance with field effect mobility of 77 cm2/V·s and on/off ratio current ratio > 107. We believe that the poly-Si formed by a LTPS process may be well suited for fabrication of poly-Si TFTs for bendable panel displays such as AMOLED that require circuit integration.

한국어

본 논문은 유기물로 이루어진 폴리머 기판상에 저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터 제조방법에 대해 연구하 였다. 먼저, 폴리머 기판에 화학증착방식으로 비결정 실리콘 박막을 증착하였고, 열처리 장치인 퍼니스로 탈수소 및 활성화 공정을 430도에서 2시간동안 진행하였다. 이후 엑시머 레이저를 이용하여 결정화를 진행하여 다결정 실 리콘 반도체 막을 제조하였다. 이 박막은 박막트랜지스터 제작을 위한 활성층으로 사용하였다. 제작된 p형 박막트랜 지스터는 이동도 77cm2/V·s, on/off 전류비는 107이상의 동작특성을 보였고, 이는 결정화된 박막내부에 결함 농도가 낮음을 의미한다. 이 결과로 유기물 기판상에 엑시머 레이저로 형성된 다결정 실리콘으로 제작된 전자소자는 플렉 서블 AMOLED 디스플레이 회로 형성에 최적의 기술임을 알 수 있다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
2.1 실험 방법
2.2 레이저 결정화 시뮬레이션
2.3 탈착 전·후 박막트랜지스터의 특성
3. 결론
REFERENCES

키워드

저자

• 김경보 [ Kyoung-Bo Kim | 인하공업전문대학 금속재료과 교수 ]
• 이종필 [ Jongpil Lee | 중원대학교 전기전자공학전공 교수 ]
• 김무진 [ Moojin Kim | 중원대학교 전기전자공학전공 교수 ] Corresponding Author
• 민영실 [ Youngsil Min | 중원대학교 제약공학과 교수 ]

참고문헌

발행기관

간행물

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• 간행물명

  융합정보논문지(구 중소기업융합학회논문지) [Journal of Convergence for Information Technology]

• 간기

  월간

• pISSN

  2586-1816

• eISSN

  2586-4440

• 수록기간

  2011~2022

• 십진분류

  KDC 004 DDC 004