현재 위치
Home
Emission Characteristics of VOCs Distributions in Semiconductor Workplace
반도체 작업환경의 VOCs 농도분포 특성
-
- 발행기관
- 한국도시환경학회 바로가기
-
- 간행물
- 한국도시환경학회지 KCI 등재후보 바로가기
-
- 통권
- VOL.18 No.4 통권 제48호 (2018.12)바로가기
-
- 페이지
- pp.503-509
-
- 저자
-
- 언어
- 한국어(KOR)
-
- URL
- https://www.earticle.net/Article/A348248
※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
4,000원
원문정보
초록
- 영어
- In this study, a Proton-Transfer Reaction-Time-of-Flight Mass spectrometer (PTR-TOF-MS) was used for the continuous monitoring of Volatile Organic Compounds (VOCs) emitted from semiconductor workplace such as photolithography (PHOTO), flat panel display (FPD), organic light emitting diode (OLED), etching (WET) process. The averaged VOCs mixing ratio in the such workplace, PHOTO was 6.5 ppm, FPH was 6.4 ppm, WET was 2.0 ppm and OLED was 1.3 ppm, respectively. The abundance of VOCs in the workplace were methyl ethyl ketone (MEK) with 2.8 ppm (69%) and acetaldehyde with 0.5 ppm (13.2%). Depending on the semiconductor process characteristics, various VOCs have been observed in the workplace. The VOCs mixing ratio are lower than the workplace regulation standard (TWA), it is necessary to continuously monitor and effectively manage these VOCs.
- 한국어
- 본 연구에서는 양자전이 비행시간질량분석기(PTR-ToF-MS)를 이용하여 반도체 공정의 작업환경(PHOTO, FPD, OLED, WET 공정)에서 VOCs를 실시간으로 모니터링하였다. 작업환경에서 평균 VOCs 농도는 PHOTO 6.5 ppm, FPH 6.4 ppm, WET 2.0 ppm, OLED 1.3 ppm이었다. VOCs 중 methyl ethyl ketone이 2.8 ppm (69%), acetaldehyde가 0.5 ppm (13.2%)로 나타났다. 반도체 공정 특성에 따라 다양한 VOCs 가 작업환경에서 관측되었다. 관측된 VOCs 농도는 작업환 경기준보다 낮지만, 이러한 VOCs를 지속적으로 모니터링하여 효과적으로 관리해 나갈 필요가 있다.
키워드
반도체 작업환경 휘발성유기화합물 양자전이 비행시간 질량분석기(PTR-ToF-MS) Semiconductor Workplace VOCs Proton Transfer Reaction-Time of Flight Mass Spectrometer (PTR-ToFMS)저자
간행물 정보
발행기관
-
- 발행기관명
- 한국도시환경학회 [The Korean Society of Urban Environment]
- 설립연도
- 2001
- 분야
- 공학>환경공학
- 소개
- 산업화와 도시 집중화 및 교통의 증가에 따른 각종 공해 물질의 증가에 의하여 우리들이 살고 있는 도시환경은 오염되고 있을 뿐만 아니라 도시 생태계가 파괴되어 가고 있다. 이에 따라 우리들의 생산활동이나 공공교통 그리고 일상생활에서 발생하는 대기오염, 수질오염, 토양오염, 폐기물, 소음 및 진동 그리고 그 밖의 오염원으로부터 발생되는 오염물질 등은 인간의 건강 및 생명에 유해하며 나쁜 영향을 미칠 수 있으므로 이를 방지하기 위한 시급한 대처가 요구된다. 이러한 시대적 요청에 따라 본 한국도시환경학회는 도시환경과 관련된 모든 문제를 조사연구함으로써 도시환경학문의 발전과 응용 및 보급에 기여하고 나아가 사회 발전에 이바지함을 목적으로 설립되었다.
간행물
-
- 간행물명
- 한국도시환경학회지 [Journal of the Korean Society of Urban Environment]
- 간기
- 계간
- pISSN
- 1598-253X
- 수록기간
- 2001~2026
- 십진분류
- KDC 539 DDC 628
이 권호 내 다른 논문 / 한국도시환경학회지 VOL.18 No.4 통권 제48호
피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)
함께 이용한 논문 이 논문을 다운로드한 분들이 이용한 다른 논문입니다.
출처 : 네이버학술정보
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.