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Line-shaped superconducting NbN thin film on a silicon oxide substrate

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  • 발행기관
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) 바로가기
  • 간행물
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) KCI 등재 SCOPUS 바로가기
  • 통권
    Vol.20 No.4 (2018.12)바로가기
  • 페이지
    pp.20-25
  • 저자
    Jeong-Gyun Kim, Dongseok Suh, Haeyong Kang
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A347953

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원문정보

초록

영어
Niobium nitride (NbN) superconducting thin films with the thickness of 100 and 400 nm have been deposited on the surfaces of silicon oxide/silicon substrates using a sputtering method. Their superconducting properties have been evaluated in terms of the transition temperature, critical magnetic field, and critical current density. In addition, the NbN films were patterned in a line with a width of 10 μm by a reactive ion etching (RIE) process for their characterization. This study proves the applicability of the standard complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS) process in the fabrication of superconducting thin films without considerable degradation of superconducting properties.

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENTAL SECTION
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENT
REFERENCES 

키워드

niobium nitride superconducting thin film sputtering deposition Ar Etching. Critical Temperature critical field critical current density

저자

  • Jeong-Gyun Kim [ Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea ]
  • Dongseok Suh [ Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea ]
  • Haeyong Kang [ Department of Physics, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) [The Korean Society of Superconductivity and Cryogenics (KSSC)]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    공학>전기공학
  • 소개
    21세기 핵심기술인 초전도공학과 저온공학분야의 기술 수준을 향상시키고, 선진 외국의 관련 학회와의 국제 교류 뿐만 아니라 이 분야에서 산.학.연의 학술활동 및 기술교류의 구심점으로의 그 역할을 성실히 수행하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) [Progress in Superconductivity and Cryogenics]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1229-3008
  • eISSN
    2287-6251
  • 수록기간
    1999~2025
  • 등재여부
    KCI 등재,SCOPUS
  • 십진분류
    KDC 427 DDC 537

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