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A Study on Surface Growth Direction and Particle Shape According to the Amount of Oxygen and Deposition Parameters

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제11권 4호 (2018.12)바로가기
  • 페이지
    pp.209-211
  • 저자
    Jin Jeong, Seung Hee Kim
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A347908

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원문정보

초록

영어
A zinc oxide thin film doped with aluminum was deposited by RF sputtering. The deposition temperature of the sputter chamber was kept constant at 350°C, the power supplied to the chamber was 75 W, the oxygen flow rate was changed to 10 sccm and 20 sccm, and the thin film deposition time was changed to 120 and 180 minutes. The structures of the deposited zinc oxide thin films were analyzed by van der Waals method using an X-ray diffractometer. As a result of X-ray diffraction, the amount of oxygen supplied to the zinc oxide thin film increased, and the surface growth of the (002), (400), (110), and (103) planes showed a change with increasing deposition time. Moreover, as the amount of oxygen supplied to the zinc oxide thin film increased, their shape was observed to be coarse, and the thin film’ s particles shape was correlated with the oxygen chemical defect introduced.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental Details
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References

키워드

Zn0 Thin Films Growth Surface Defect

저자

  • Jin Jeong [ Department of Physics, Chosun University, Gwang Ju, 61452, Korea ] Corresponding Author
  • Seung Hee Kim [ Department of Dental Hygiene 73, Gwangju Health University, Gwang Ju, 62287, Korea ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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