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Simulations of the Performance Factors on Vacuum System

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  • 발행기관
    국제인공지능학회(구 한국인터넷방송통신학회) 바로가기
  • 간행물
    The International Journal of Advanced Smart Convergence KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    Volume 6 Number 4 (2017.12)바로가기
  • 페이지
    pp.1-8
  • 저자
    Hyung-Taek Kim
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A332234

※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.

원문정보

초록

영어
In this work, the effects of fairly influential factors on performance of vacuum system, such as constant pressure and outgassing effect were simulated to propose the optimum design factors. Outgassing effects of selected vacuum materials on the vacuum characteristics were simulated by the VacSimMulti simulation tool. This investigation examined the feasibility of reliably simulating the outgassing characteristics of common vacuum chamber materials (aluminum, copper, stainless steel, nickel plated steel, Viton A). The optimum design factors for vacuum systems were suggested based on the simulation results. And, the effects of throttle valve applications on vacuum characteristics were also simulated to obtain the optimum design model of variable conductance on high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modelling were agreed with the observed experimental behaviour of real systems. Pressure limit valve and normally on-off control valve were schematized as the modelling of throttle valve for the constant process-pressure. Simulation results were plotted as pump-down curve of chamber and variable conductance of throttle valve. Simulated behaviors showed the applications of throttle valve sustained the process-pressure constantly, stably, and reliably.

목차

Abstract
 1. Introduction
 2. Simulations
  2.1. Simulation model
  2.2. Simulation of UHV system with and without outgassing
  2.3. Simulation of diffusion pump system with and without baffle
  2.4. Simulation of outgassing characteristics of vacuum materials
  2.5 Simulation of variable conductance system
 3. Results and conclusion
 Acknowledgement
 References

키워드

Vacuum system Performance factor Constant pressure Outgassing Vacuum characteristics.

저자

  • Hyung-Taek Kim [ Department of Advanced Materials Engineering, College of Engineering, Incheon National University, Korea ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    국제인공지능학회(구 한국인터넷방송통신학회) [The International Association for Artificial Intelligence]
  • 설립연도
    2000
  • 분야
    공학>전자/정보통신공학
  • 소개
    인터넷방송, 인터넷 TV , 방송 통신 네트워크 및 관련 분야에 대한 국내는 물론 국제적인 학술, 기술의 진흥발전에 공헌하고 지식 정보화 사회에 기여하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    The International Journal of Advanced Smart Convergence
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2288-2847
  • eISSN
    2288-2855
  • 수록기간
    2012~2025
  • 십진분류
    KDC 326 DDC 380

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