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<생산기술>
나노 스테이지와 볼나사 스테이지에서 커패시티브 센서 실험에 관한 연구
A Study on the Experiment of Capacitive Sensor in Nano and Ball Screw Stage
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제20권 제1호 (2018.02)바로가기
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- 페이지
- pp.108-113
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A324092
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원문정보
초록
- 영어
- The capacitive sensors can be divided into two categories depending on their performance and intended use. First, high resolution sensors are commonly used in displacement and position monitoring applications where high precision, high stability, and low temperature drift are required. Often these sensors are used in process monitoring and closed loop feedback control systems. Second, proximity capacitive sensors are much cheaper and generally used for sensing the presence of parts or for counting applications. The following paper describes characteristics of capacitive sensor and application to the PZT nano and ball screw stage.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 용량 센서와 특성
3. 나노 스테이지 실험
4. 볼나사 스테이지 실험
5. 결론
후기
References
키워드
Nano stage(나노 스테이지) Ball screw stage(볼나사 스테이지) Apacitive sensor(커패시티브 센서)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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