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原著

반도체 제조공정에서 양자전이 비행시간 질량분석기를 이용한 Trimethylsilanol 분석 방법에 대한 연구
A Study on the Trimethylsilanol Analysis Method of Semiconductor Processing using a Proton Transfer Reaction - Time of Flight Mass Spectrometer

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  • 발행기관
    한국도시환경학회 바로가기
  • 간행물
    한국도시환경학회지 KCI 등재 바로가기
  • 통권
    VOL.17 No.1 통권 제41호 (2017.03)바로가기
  • 페이지
    pp.85-95
  • 저자
    김정호, 박진수, 민철현, 김소영, 윤관훈, 김신도
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A301404

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4,200원

원문정보

초록

영어
Silica compounds such as Trimethylsilanol (TMS) used in the photolithography area of semiconductor manufacture processing have irreversible dramatic impact on optical lenses used on photolithography tools. Here, a Proton Transfer Reaction-Time of Flight Mass Spectrometer (PTR-ToFMS) was applied for real-time and continuous monitoring of TMS contamination induced by the fabrication process. TMS measurements by various electronic field (E/N) were carried out using the PTR-ToFMS in order to fix the analysis condition. The TMS mass mass spectrum was determined by varying the E/N value of the PTR-ToFMS ion drift tube. The ratio of the measured ion (C3H11OSi+) was influenced according to the E/N value and optimal analysis condition of TMS was around 100 Td.
한국어
반도체 포토리소그래피 공정에서 사용되는 Trimethylsilanol(TMS)과 같은 실리카 화합물은 포토리소그래피에 사용되 는 광학 렌즈에 심각한 영향을 미친다. 본 연구에서는 TMS 실시간으로 모니터링하기 위해 양자전이 비행시간 질량분석 기(PTR-ToFMS)를 적용하였으며, 분석 조건을 설정하기 위하여 PTR-ToFMS의 다양한 전장강도(E/N) 값에서 TMS를 측 정하였다. 그 결과 TMS 질량스펙트럼은 PTR-ToFMS 이온이동도관의 E/N 값을 변화시킴으로써 결정되었다. 측정된 이 온(C3H11OSi+)의 비율은 E/N 값에 영향을 받았고, TMS의 최적 분석 조건은 약 100 Td 이었다.

목차

Abstract
 요약문
 I. 서론
 II. 연구내용 및 방법
  1. PTR-ToFMS
  2. PTR-ToFMS 질량교정
  3. 이온의 통과율(transmission rate)의 측정 및 보정
  4. Trimethylsilanol(TMS) 시료 및 분석방법
 III. 측정 및 분석결과
  1. TMS 질량스펙트럼 특성
  2. 이동도관 전장강도 변화에 따른 TMS 검출 특성
 V. 결론
 References

키워드

반도체 양자전이 비행시간 질량분석기 trimethylsilanol(TMS) Semiconductor Trimethylsilanol (TMS) Proton Transfer Reaction-Time of Flight Mass Spectrometer (PTR-ToFMS)

저자

  • 김정호 [ Jeong-Ho Kim | 서울시립대학교 환경공학과, 에이피엠엔지니어링 MS부 ]
  • 박진수 [ Jin-Soo Park | 국립환경과학원 기후대기연구부 ]
  • 민철현 [ Cheol-Hyun Min | 에이피엠엔지니어링 MS부 ]
  • 김소영 [ So-Young Kim | 국립화학물질안전원 ]
  • 윤관훈 [ Gwan-Hoon Yoon | 에이피엠엔지니어링 MS부 ]
  • 김신도 [ Shin-Do Kim | 서울시립대학교 환경공학과 ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국도시환경학회 [The Korean Society of Urban Environment]
  • 설립연도
    2001
  • 분야
    공학>환경공학
  • 소개
    산업화와 도시 집중화 및 교통의 증가에 따른 각종 공해 물질의 증가에 의하여 우리들이 살고 있는 도시환경은 오염되고 있을 뿐만 아니라 도시 생태계가 파괴되어 가고 있다. 이에 따라 우리들의 생산활동이나 공공교통 그리고 일상생활에서 발생하는 대기오염, 수질오염, 토양오염, 폐기물, 소음 및 진동 그리고 그 밖의 오염원으로부터 발생되는 오염물질 등은 인간의 건강 및 생명에 유해하며 나쁜 영향을 미칠 수 있으므로 이를 방지하기 위한 시급한 대처가 요구된다. 이러한 시대적 요청에 따라 본 한국도시환경학회는 도시환경과 관련된 모든 문제를 조사연구함으로써 도시환경학문의 발전과 응용 및 보급에 기여하고 나아가 사회 발전에 이바지함을 목적으로 설립되었다.

간행물

  • 간행물명
    한국도시환경학회지 [Journal of the Korean Society of Urban Environment]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1598-253X
  • 수록기간
    2001~2026
  • 십진분류
    KDC 539 DDC 628

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