현재 위치
Home
Design of High Concentration Environmental Sensor Based on MEMS Chip
-
- 발행기관
- 보안공학연구지원센터(IJSH) 바로가기
-
- 간행물
- International Journal of Smart Home 바로가기
-
- 통권
- Vol.10 No.11 (2016.11)바로가기
-
- 페이지
- pp.61-68
-
- 저자
-
- 언어
- 영어(ENG)
-
- URL
- https://www.earticle.net/Article/A292642
※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.
원문정보
초록
- 영어
- There are increasingly urgent needs for low power, high performance, and low cost environmental sensor in environmental concentrator industry. A new type of MEMS environmental sensor based on MEMS thin film resistor and heat transduction is designed. Using clean room technology processing micron-size chip, help reduce post-production costs. Preliminary experiment results demonstrate that the output voltage signal is proportional to the environmental concentration in normal working range, and the detection accuracy can reach less than 1%.
목차
Abstract
1. Introduction
High Environmental Concentrations Sensor
Environmental Detection Based on MEMS Chip
MEMS Chip and Testing
Monitoring System Design
Library Based on ZigBee Technology Monitoring System
Conclusion
References
키워드
environmental sensors MEMS thin-film resistors low power consumption high environmental concentration저자
간행물 정보
발행기관
-
- 발행기관명
- 보안공학연구지원센터(IJSH) [Science & Engineering Research Support Center, Republic of Korea(IJSH)]
- 설립연도
- 2006
- 분야
- 공학>컴퓨터학
- 소개
- 1. 보안공학에 대한 각종 조사 및 연구 2. 보안공학에 대한 응용기술 연구 및 발표 3. 보안공학에 관한 각종 학술 발표회 및 전시회 개최 4. 보안공학 기술의 상호 협조 및 정보교환 5. 보안공학에 관한 표준화 사업 및 규격의 제정 6. 보안공학에 관한 산학연 협동의 증진 7. 국제적 학술 교류 및 기술 협력 8. 보안공학에 관한 논문지 발간 9. 기타 본 회 목적 달성에 필요한 사업
간행물
-
- 간행물명
- International Journal of Smart Home
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1975-4094
- 수록기간
- 2008~2016
- 십진분류
- KDC 505 DDC 605
이 권호 내 다른 논문 / International Journal of Smart Home Vol.10 No.11
피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)
함께 이용한 논문 이 논문을 다운로드한 분들이 이용한 다른 논문입니다.
출처 : 네이버학술정보
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.