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Simulation of Modeling Characteristics of Pumping Design Factor on Vacuum System

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  • 발행기관
    국제인공지능학회(구 한국인터넷방송통신학회) 바로가기
  • 간행물
    The International Journal of Advanced Smart Convergence KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    Volume 5 Number 2 (2016.06)바로가기
  • 페이지
    pp.1-7
  • 저자
    Hyung-Taek Kim, Han-Ho Cho
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A281257

※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.

원문정보

초록

영어
Recently, with the development of advanced thin film devices comes the need for constant high quality vacuum as the deposition pressure is more demanding. It is for this reason our research seeks to understand how the variable design factors are employed in such vacuum systems. In this study, the effects of design factor applications on the vacuum characteristics were simulated to obtain the optimum design modeling of variable models on an ultra high vacuum system. The commercial vacuum system simulator, VacSim(multi), was used in our investigation. The reliability of the employed simulator was verified by the simulation of the commercially available models of ultra high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modeling aligned with the observed experimental behavior of real systems. Simulated behaviors showed the optimum design models for the ideal conditions to achieve optimal pressure, pumping speed, and compression ratio in these systems.

목차

Abstract
 1. Introduction
 2. Feasibility of simulation on vacuum system
 3. Simulation modeling
 4. Results and conclusion
 Acknowledgement
 Reference

키워드

Vacuum system Design factor Pumping system Vacuum characteristics Vacuum simulation

저자

  • Hyung-Taek Kim [ Dept. of Advanced Materials Science and Engineering, Incheon National University, Incheon, Korea ] Corresponding author
  • Han-Ho Cho [ Dept. of Advanced Materials Science and Engineering, Incheon National University, Incheon, Korea ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    국제인공지능학회(구 한국인터넷방송통신학회) [The International Association for Artificial Intelligence]
  • 설립연도
    2000
  • 분야
    공학>전자/정보통신공학
  • 소개
    인터넷방송, 인터넷 TV , 방송 통신 네트워크 및 관련 분야에 대한 국내는 물론 국제적인 학술, 기술의 진흥발전에 공헌하고 지식 정보화 사회에 기여하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    The International Journal of Advanced Smart Convergence
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2288-2847
  • eISSN
    2288-2855
  • 수록기간
    2012~2025
  • 십진분류
    KDC 326 DDC 380

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