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<학술연구>
TbDyFe 박막 NEMS 작동기의 유한요소해석을 위한 자기변형 실험
A Experiment of Magnetostriction for FE Analysis of NEMS Actuators with TbDyFe Thin Films
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제18권 제3호 (2016.06)바로가기
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- 페이지
- pp.349-354
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A278214
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원문정보
초록
- 영어
- In this study, TbDyFe thin films with the thickness of 1000 Å are fabricated by DC magnetron sputtering. TbDyFe thin films are prepared by DC magnetron sputtering method. The pressure of Ar gas below 1.33 kPa and DC input power of 200 W are used for the sputtering conditions. During sputtering process the substrate holder is heated up to 150 ℃. The thin films are deposited to a thickness of 1000 Å on polyimide substrate with a thickness of 2 μm. The fabricated microstructures are observed by X-ray diffraction (XRD) and the film thickness is measured. Magnetostrictions are determined from the curvature of the thin films which are measured by the optical cantilever method. The experimental results are discussed with numerical data.
목차
Abstract
1. 서론
2. 나노 자기변형 박막의 수치모델
3. TbDyFe 박막 작동기의 제작
4. 자기변형측정
5. 실험결과 및 유한요소모델의 검증
6. 결론
References
키워드
Thin film(박막) Actuator(작동기) Finite element(유한요소) Magnetostrictive(자기변형) Polyimidesubstrate(폴리이미드 기판) TbDyFe(터페놀-디)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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