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냉각탑과 반도체장비의 진동소음 측정 및 영향성 평가
A Study on Vibration Noise Measurement and Influence Evaluation of Cooling towers and Semiconductor Equipment
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) 바로가기
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- 통권
- 2016년도 한국기계기술학회 춘계학술발표회 논문집 (2016.05)바로가기
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- 페이지
- pp.121-125
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A276440
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원문정보
초록
- 영어
- Cooling towers have been widely applied to control the indoor temperature in the residential area and the living space. At operating the cooling towers, motor, fan and dropping water produce noise and vibration, which diffuse through the air or the solid object, polluting the environment. The standards can be used at estimating noise and vibration emission by showing remarkable economic or social benefits. The purpose of this study is to show the vibration and noise measurement and influence evaluation between cooling towers and semiconductor equipment.
목차
Abstract
1. 서론
2. 냉각탑의 진동소음 특성 및 평가
2.1 냉각탑의 진동 측정 및 평가
2.2 냉각탑의 소음 측정 및 평가
3. 측정대상 및 방법
4. 측정 결과 및 고찰
4.1 냉각탑의 진동
4.2 냉각탑의 소음
4.3 냉각탑과 정밀장비 바닥의 진동
5. 결론
References
키워드
냉각탑(Cooling tower) 반도체장비(Semiconductor equipment) 진동소음(Vibration Noise) 측정(Measurement) 영향성(Influence)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) [Proceedings of KSMT Annual Meeting]
- 간기
- 부정기
- 수록기간
- 2000~2026
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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