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3축 전자동 Wafer & LCD 균일 분포도 표면측정 System 개발(1차)
The Development of Uniform Distribution Surface Measurement System in Three Axis Full Automatic Wafer and LCD(The First)

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) 바로가기
  • 통권
    2015년도 한국기계기술학회 동계학술발표회 논문집 (2015.03)바로가기
  • 페이지
    pp.63-67
  • 저자
    이정익
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A276372

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원문정보

초록

영어
This study is a development of a system for measuring the surface resistance of wafer and LCD by utilizing a three-axis positioner. Previous wafer measuring system is a developed product for measuring a wafer surface resistance. This is developed very long time. This is not a real action that it is needed a persistence development.. So, that is effected as weak point by simple mechanism and old software. This product is forecasted not being risen in world market. Therefore, this new product(surface measuring system by three axis positioner type) through this research is off the point a previous one axis revolute type, this new product is forecasted capable of a measurement not only wafer but also LCD.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 표면측정 System 개발 현황
 3. 연구 목표
 4. 표면측정 System 개발 내용 및 방법
 5. 개발 시 기대 및 예상효과
 6. 개발 목표
 후기
 References

키워드

Visual(시각의) POP(Point of product:생산공정관리) DPD(Digital Picking Display:작업지시영상투영시스템) DPS(Digital Picking System:제조물 표기 시스템)

저자

  • 이정익 [ Jeongick Lee | 인하공업전문대학. 기계설계과. 교수 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회 학술대회논문집(구 한국기계기술학회 학술대회논문집) [Proceedings of KSMT Annual Meeting]
  • 간기
    부정기
  • 수록기간
    2000~2024
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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