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Investigation of Post Annealing Effect on the PZT Thin Films
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- 발행기관
- 조선대학교 기초과학연구원 바로가기
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- 간행물
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제8권 4호 (2015.12)바로가기
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- 페이지
- pp.244-249
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A259791
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원문정보
초록
- 영어
- The PZT thin films were deposited on Si(100) substrate using RF magnetron sputtering method. And the PZT thin films were post annealed at various temperatures to form perovskite phase. To analyze PZT thin films, surface profiler, XRD, XPS, CA, and SFE were used. The thickness increased from 536.5 to 833.2 nm as post annealing temperature increased. The perovskite PZT was observed from PZT-823 and pyrochlore PZT, ZrO2, TiO2, and perovskite PbZrO3 were observed. From the XPS, the atomic percentages of Pb, Zr, Ti, and O were calculated and the portion of Pb increased to PZT-823 and decreased to PZT-923 and then increased to PZT-1023. Also, the CA and SFE was effected on post annealing temperature and as a function of atomic percentage of Pb, the CA and SFE was transformed.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Section
3. Results and Discussion
4. Conclusion
References
키워드
Thin Film X-ray Diffraction Lead Zirconate Titanate저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
- 설립연도
- 2008
- 분야
- 자연과학>자연과학일반
- 소개
- 본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업
간행물
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- 간행물명
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
- 간기
- 계간
- pISSN
- 2005-1042
- 수록기간
- 2008~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 405 DDC 505
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