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효율적 임계치 결정 방법을 이용한 영상결함 자동검출기의 구현
The Implementation of Automatic Image Defect Detector using Efficient Threshold Selection Method

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  • 발행기관
    한국컴퓨터게임학회 바로가기
  • 간행물
    컴퓨터게임및콘텐츠논문지(구 한국컴퓨터게임학회논문지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    제28권 제1호 (2015.03)바로가기
  • 페이지
    pp.111-116
  • 저자
    김상훈, 박명숙
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A248428

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원문정보

초록

영어
A image defect detecting vision system for the automatic optical inspection of wafer has been developed. For the successful detection of various kinds of defects, the performance of two threshold selection methods are compared and the improved Otsu method is adopted so that it can handle both unimodal and bimodal distributions of the histogram equally well. An automatic defect detection software for practical use was developed with the function of detection of ROI, fast thresholding and area segmentation. Finally each defect pattern in the wafer is classified and grouped into one of user-defined defect categories and more than 14 test wafer samples are tested for the evaluation of detection and classification accuracy in the inspection system.

목차

ABSTRACT
 1. 서론
 2. 웨이퍼 영상 결함 검출 시스템
  2.1 웨이퍼 영상의 이진화
  2.2 개선된 임계치 결정 방법을 이용한 결함 검출 절차
 3. 실험
  3.1 이진화 비교 결과
  3.2 결함 검출기의 성능
 4. 결론
 참고문헌

키워드

defect detection threshold selection Otsu thresholding unimodal distribution

저자

  • 김상훈 [ Sang Hoon Kim | 국립한경대학교 전기전자제어공학과 교수 ] Corresponding author
  • 박명숙 [ Myeong-Suk Pak | 국립한경대학교 전기전자제어공학과 석사과정 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국컴퓨터게임학회 [Korean Society for Computer Game]
  • 설립연도
    2002
  • 분야
    공학>컴퓨터학
  • 소개
    1. 게임산업을 활성화 하고, 2. 게임기술과 기술 인력을 양산할 수 있도록 교육기관의 교과과정을 개발하고, 3. 관련기술에 대한 연구발표회, 강연회, 강습회 등을 개최하며, 4. 학회지, 논문지 및 관련 문헌을 발간하고, 5. 게임 기술 개발을 위한 국제화, 표준화 등을 지원하고, 6. 산.학.연.관이 협동할 수 있는 국제적 학술교류 및 협력을 지원하고, 7. 회원 상호간의 공동 이익과 친목을 증진시킨다.

간행물

  • 간행물명
    컴퓨터게임및콘텐츠논문지(구 한국컴퓨터게임학회논문지) [Journal of Computer Games and Contents]
  • 간기
    월간
  • pISSN
    3091-7409
  • eISSN
    3092-3638
  • 수록기간
    2002~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 691 DDC 793

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