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<학술연구>
이온빔 조사방법을 이용한 SiOF 기판상의 수평배향 엘시디 표시소자의 특성에 관한 연구
Study of Homogeneous Alignm ent LCD Device using Ion-beam Irradiation method on SiOF Substrates
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재 바로가기
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- 통권
- 제17권 제2호 (2015.04)바로가기
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- 페이지
- pp.335-340
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A248284
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원문정보
초록
- 영어
- Nematic liquid crystal (NLC) alignment effects on SiOF layers via ion-beam(IB) irradiation for four types of incident energy were successfully studied. The effect of fluorine addition on silicon oxide film properties as a function of SiOF₄/O₂gas flow ration was investigated. The SiOF thin film exhibits good chemical and the thermal stability of the SiOF thin film were sustained as function of the NLC alignment until 200℃. Also, the response-time characteristics of aligned LCD based on SiOF film were studied.
목차
Abstract
1. INTROUDUCTION
2. EXPERIMENTS
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCLUSIONS
References
키워드
Liquid Crystal(액정) Ion-beam Irradiation(이온빔 조사) SiOFx Substrates(기판) Liquid CrystalAlignment(액정배향) Homogeneous Alignment(수평배향)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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