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DPS(Double Polarity Source) 구조를 갖는 고전압 동작용 EDNMOS 소자의 정전기 보호 성능 개선
Improvement of ESD Protection Performance of High Voltage Operating EDNMOS Device with Double Polarity Source (DPS) Structure

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  • 발행기관
    한국위성정보통신학회 바로가기
  • 간행물
    한국위성정보통신학회논문지 KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제9권 제2호 (2014.06)바로가기
  • 페이지
    pp.12-17
  • 저자
    서용진, 양준원
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A232021

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원문정보

초록

영어
In this paper, modified EDNMOS device with DPS (double polarity source) structure are suggested to realize stable and robust ESD (electrostatic discharge) protection performance of high voltage operating microchip. This DPS structure inserts the P+ diffusion layer on N+ source side, which in intended to block lateral extension of the electron rich region from N+ source side. Based on our simulation results, the inserted P+ diffusion layer effectively prevents the formation of deep electron channeling induced by high electron injection. As a result, our proposed DPS_EDNMOS devices could overcome the double snapback effect of conventional Std_EDNMOS device.
한국어
본 논문에서는 고전압에서 동작하는 마이크로칩의 안정하고 튼튼한 정전기 보호 성능을 구현하기 위해 이중 극성 소오스를 갖는 DPS_EDNMOS 변형소자가 제안되었다. 제안된 DPS는 N+ 소오스로 부터 전자 풍부 영역이 측면 확산되는 것을 방지하기 위해 N+ 소오스 측에 P+ 확산층을 의도적으로 삽입한 구조이다. 시뮬레이션 결과에 의하면 삽입된 P+ 확산층은 고전자 주입에 의해 발생 하는 깊은 전자채널의 형성을 효과적으로 막아주고 있음을 알 수 있었다. 따라서 종래의 EDNMOS 표준소자에서 문제시 되었던 더블 스냅백 현상을 해결할 수 있었다.

목차

요약
 ABSTRACT
 I. 서론
 II. 소자구조 및 분석 방법
  1. 소자 구조
  2. 시뮬레이션 분석 방법
 III. 결과 및 고찰
 IV. 결론
 참고문헌

키워드

ESD (Electrostatic discharge) EDNMOS (Extended Drain N-type MOSFET) DPS(Double Polarity Source) Double Snapback Channel Blocking

저자

  • 서용진 [ Yong-Jin Seo | 세한대학교 나노정보소재연구소 ]
  • 양준원 [ Jun-Won Yang | 세한대학교 컴퓨터교육과 ] 교신저자

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국위성정보통신학회 [The Korea Society of Satellite Technology]
  • 설립연도
    1991
  • 분야
    공학>항공우주공학
  • 소개
    우리나라 위성통신·방송사업의 효율적인 추진과 우주과학 및 관련산업 기술 발전에 이바지하고 관련분야 종사자들간의 정보교류와 기술협력에 이바지함을 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국위성정보통신학회논문지 [Journal of Satellite, Information and Communications]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2384-3853
  • 수록기간
    2006~2017
  • 십진분류
    KDC 567 DDC 629

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