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〈학술연구〉
에폭시 본딩을 이용한 자기변형 박막 작동기의 거동
Behavior of Magnetostrictive Thin Film Actuator using Epoxy Bonding
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
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- 통권
- 제15권 제6호 (2013.12)바로가기
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- 페이지
- pp.827-831
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A211869
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원문정보
초록
- 영어
- Magnetostrictive actuator is fabricated with epoxy bonding method instead of sputtering method in this study. Fabrication process and experimental measurement method for magneto- mechanical characteristics is proposed. For the design of highly flexible magnetostrictive actuator, TbDyFe epoxy bonding with SU-8 substrate is adopted. The fabrication process for SU-8 substrate and the epoxy bonding is suggested and magnetostrictive behavior is investigated. Variable magnetic field is applied to measure the various magnetostrictive characteristics and magnetostriction is measured with different waves and different magnitude of magnetic field.
목차
Abstract
1. 서론
2. 자기변형 작동기의 제작
2.1 자기변형 작동기 제작 배경
2.2 자기변형 작동기의 제작
3. 자기변형 작동기의 실험
3.1 박막 두께 및 자화 측정
3.2 자기변형 측정
4. 결론
References
키워드
Magnetostrictive Thin Film(자기변형 박막) Epoxy Bonding(에폭시 본딩) Magnetic Mment(자기모멘트) Magnetostriction(자기변형) Substrate(기판)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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