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Development of DWCCS for Chemical Temperature Control of Semiconductor Manufacturing
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- 발행기관
- 보안공학연구지원센터(IJCA) 바로가기
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- 간행물
- International Journal of Control and Automation SCOPUS 바로가기
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- 통권
- Vol.6 No.3 (2013.06)바로가기
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- 페이지
- pp.125-132
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A207692
※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.
원문정보
초록
- 영어
- In the semiconductor manufacturing process, many factors lead to lower transference numbers and DT. Especially, this occurs due to the temperature changes of essential chemicals such as acid and solvent and the rate is constantly increasing. Thus, it is required to develop equipment to improve transference numbers and DT properties and the work efficiency of process engineers by maintaining constant temperature of chemicals used in the manufacturing process and by controlling multiple circulators. This study developed DWCCS which engineers operate by remote control with multiple facilities and which maintains constant temperature of chemicals used in semiconductor device manufacturing facilities and processes.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Semiconductor Manufacturing Process
3. Deionized Water Circulation Control System
4. Conclusion
Acknowledgments
References
키워드
Chemical Control DWCCS Down Time Semiconductor process저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 보안공학연구지원센터(IJCA) [Science & Engineering Research Support Center, Republic of Korea(IJCA)]
- 설립연도
- 2006
- 분야
- 공학>컴퓨터학
- 소개
- 1. 보안공학에 대한 각종 조사 및 연구 2. 보안공학에 대한 응용기술 연구 및 발표 3. 보안공학에 관한 각종 학술 발표회 및 전시회 개최 4. 보안공학 기술의 상호 협조 및 정보교환 5. 보안공학에 관한 표준화 사업 및 규격의 제정 6. 보안공학에 관한 산학연 협동의 증진 7. 국제적 학술 교류 및 기술 협력 8. 보안공학에 관한 논문지 발간 9. 기타 본 회 목적 달성에 필요한 사업
간행물
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- 간행물명
- International Journal of Control and Automation
- 간기
- 월간
- pISSN
- 2005-4297
- 수록기간
- 2008~2016
- 십진분류
- KDC 505 DDC 605
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