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Adduct Purification of Trimethylgallium using 4-Dimethylaminopyridine
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- 발행기관
- 보안공학연구지원센터(IJAST) 바로가기
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- 간행물
- International Journal of Advanced Science and Technology 바로가기
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- 통권
- Vol.41 (2012.04)바로가기
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- 페이지
- pp.55-60
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A206703
※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.
원문정보
초록
- 영어
- 1:1 and 2:1 adducts of trimethylgallium (TMGa) with 4-dimethylaminopyridine (DMAP) were synthesized and characterized by 1H, 13C NMR, FAB-MS and Trace elemental analyses using ICP-MS. Both adducts are non-pyrophoric, thermally dissociable and easy to handle. FAB-MS study suggests that the adducts are associated in tetrameric forms. TMGa of purity more than 99.999% (5N) was released from these adducts, which shows the adducts are potential candidates to produce high pure metal alkyl sources for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Sections
2.1 Synthesis of 4-dimethylaminopyridine.trimethylgallium Adduct (I):
2.2 Synthesis of hexamethyl-μ-[4-dimethylaminopyridine] digallium (II):
2.3 Thermal Cracking of Adducts to Release TMGa:
3. Results and Discussion
5. Conclusions
References
키워드
Trimethylgallium pyrophoric MOCVD precursor adduct purification technique저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 보안공학연구지원센터(IJAST) [Science & Engineering Research Support Center, Republic of Korea(IJAST)]
- 설립연도
- 2006
- 분야
- 공학>컴퓨터학
- 소개
- 1. 보안공학에 대한 각종 조사 및 연구 2. 보안공학에 대한 응용기술 연구 및 발표 3. 보안공학에 관한 각종 학술 발표회 및 전시회 개최 4. 보안공학 기술의 상호 협조 및 정보교환 5. 보안공학에 관한 표준화 사업 및 규격의 제정 6. 보안공학에 관한 산학연 협동의 증진 7. 국제적 학술 교류 및 기술 협력 8. 보안공학에 관한 논문지 발간 9. 기타 본 회 목적 달성에 필요한 사업
간행물
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- 간행물명
- International Journal of Advanced Science and Technology
- 간기
- 월간
- pISSN
- 2005-4238
- 수록기간
- 2008~2016
- 십진분류
- KDC 505 DDC 605
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