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〈학술연구〉

Tb0.24Dy0.76Fe2-xNix 박막 구동기를 이용한 무선 마이크로 광학시스템의 개발
Development of Tb0.24Dy0.76Fe2-xNix Thin Film Actuators for Micromachined Wireless Optical Mirror Systems

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제15권 제5호 (2013.10)바로가기
  • 페이지
    pp.697-701
  • 저자
    이흥식
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A205758

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원문정보

초록

영어
This paper presents new type magnetostrictive optical systems. The suggested wireless optical systems are developed by using two types of magnetostrictive thin film actuators. The first is a seesaw type wireless-controlled compact optical switch, and another is a comb type TbDyFeNi thin film actuator by silicon micromachining techniques with DC magnetron sputtering. In the seesaw type, TbDyFe films are selectively deposited on the micromachined switch matrix. For the optical switching operation, switch is arranged in a 1×2 array (mirror size of 5mm × 800μm × 50μm) and has different length from the supporting point. Mirrors are also actuated by externally applied magnetic fields up to 0.5T. In the comb type, the effect of Ni content on the magneto-mechanical properties of the Tb0.24Dy0.76Fe2 system is investigated with the effect of deposited film thickness of TbDyFeNi on silicon substrate for wireless microactuator. As results, magneto-mechanical characteristics are investigated. using magnetization and deflected angle variation.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 자기변형 마이크로 광학 구동기의설계
  2.1 광학 스위치의 설계 및 작동 원리
  2.2 빗살 형 광학 구동기의 설계 및 작동원리
 3. 광학 시스템의 제작
 4. 실험적 특성
 5. 결론
 참고문헌

키워드

Magnetostrictive(자기변형) Actuator(구동기) Micromachining(마이크로 머시닝) Comb type(빗살형) Optical system(광학 시스템)

저자

  • 이흥식 [ Heung-Shik Lee | 한양대학교 기계공학부 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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