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[연구논문]
Biased Double Arc Plasma CVD법에 의한 초경합금의 TiN 증착에 관한 연구
A Study on the Chemical Vapour Deposition of TiN Coating on Cemented Carbides by Biased Double Arc Plasma
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) 바로가기
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- 통권
- 제1권 제1호 (1999.12)바로가기
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- 페이지
- pp.39-45
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A19954
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원문정보
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 증착층의 우선성장 방위
3.2 증착표면의 형상변화
3.3 증착층의 두께변화
3.4 증착층의 경도
4. 결론
참고문헌
키워드
PECVD TiN coating저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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