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〈학술연구〉

자동차 부품 응용을 위한 자왜 박막의 기판효과
Substrate Effects of Magnetostrictive Thin Film on Magnetostriction for Automotive Parts Application

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제15권 제2호 (2013.04)바로가기
  • 페이지
    pp.285-290
  • 저자
    이흥식
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A198884

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원문정보

초록

영어
Magnetostrictive thin films can be applied in transmission system for the enhancement of energy efficiency. In this study, four kinds of substrates (Si, glass, Fe, polyimide) with the magnetostrictive thin film layers are prepared and investigated to characterize the magnetic and mechanical behaviors due to the substrates effects. The fabricated substrates have thicknesses of 50, 150 and 500um with cantilever shape. TbDyFe films are deposited by DC magnetron sputtering with 1～10m thick. The deposited film thicknesses are verified using X-ray diffraction. The magnetization of each sample is examined using VSM(Vibrating Sample Magnetometer) and magnetostriction is also measured using capacitance method to characterize magneto-mechanical behaviors. The magnetostriction results as deflections are compared and the results are discussed for micro actuator applications.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 자기변형 작동기의 제작
 3. 자기적 특성 평가
 4. 기계적 특성 평가
 5. 결론
 참고문헌

키워드

Automotive Parts(자동차 부품) Substrate Effect(기판 효과) Thin Film(박막) Micromachining(미세가공) Magnetostriction(자왜)

저자

  • 이흥식 [ Heung-Shik Lee | 한양대학교 기계공학부 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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