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초록

영어

Effect of valve conductance on performance of vacuum system was simulated for optimum design of vacuum system. In this investigation, the feasibility of modeling mechanism for VacSimMulti simulator was proposed. Application specific design of vacuum system is required to meet the particular process conditions for various industrial implementations of vacuum equipments. Geometry and length, diameter of vacuum valve were modeled as simulation modeling variables for conductance effects. Series vacuum system was modeled and simulated with varied dimensions and structures of exhaust valves. Variation of valve diameter showed the more significant effects on vacuum characteristics than that of pipeline length variations. It was also observed that the aperture structure of valve had the superior vacuum characteristics among the modeled systems.

한국어

진공 시스템의 성능에 대한 밸브 컨덕턴스의 영향은 진공시스템의 설계 최적화를 위해 전산모사 되었다. 본 연구에서는, 전산모사기인 VacSimMulti 에 의한 모델링기구가 제시되었다. 진공 시스템의 설계는 진공 장비의 다양한 산업적 구현을 위해 특정한 프로세스 조건을 충족해야 한다. 진공 밸브의 구조, 길이, 직경 등은 컨덕턴스 영향의 전산모사 변수로서 모델링 되었으며, 직렬 진공 시스템의 배기 밸브 또한, 다양한 크기와 구조로 모델링하여 전산모사 되었다. 밸브 직경의 변화는 도관의 길이의 변화보다 진공특성에 있어 더 유의미한 효과를 보여주었으며 슬릿형의 밸브도관 시스템은 모델링된 밸브구조 중 가장 뛰어난 진공특성을 가지는 것으로 관찰 되었다.

목차

요약
 Abstract
 I. 서론
 II. 고진공시스템의 기체유동과 컨덕턴스
 III. 전산모사
  1. 고진공시스템 모델링
  2. 직렬 및 병렬 고진공시스템 모델링
  3. 밸브 직경에 따른 진공특성
  4. 밸브 길이에 따른 진공특성
  5. 밸브 구조에 따른 진공특성
 IV. 결론
 참고문헌

키워드

저자

• 김형택 [ Hyung-TaeK Kim | 정회원, 인천대학교 신소재공학과 ] Corresponding Author

참고문헌

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• 간행물명

  한국인터넷방송통신학회 논문지 [The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication]

• 간기

  격월간

• pISSN

  2289-0238

• eISSN

  2289-0246

• 수록기간

  2001~2025

• 십진분류

  KDC 326 DDC 380