현재 위치
Home
학술연구
Cross Hinge 구조를 이용한 나노 정밀 압전 소자 모션 스테이지의 설계
Design of Piezo driven Motion stage using novel cross hinge structure
-
- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
-
- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
-
- 통권
- 제14권 제1호 (2012.03)바로가기
-
- 페이지
- pp.7-11
-
- 저자
-
- 언어
- 한국어(KOR)
-
- URL
- https://www.earticle.net/Article/A175239
※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
※ 학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 4페이지 이내 논문은 '요약'만 제공되는 경우가 있으니, 구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.
4,000원
원문정보
초록
- 영어
- This paper presents the design and simulation results of a piezo-driven motion stage that employs a novel cross hinge structure that is more efficient and flexible than previous designs. The newly designed motion stage enables close to nanometer-precision motion control with ranges up to 1.6mm. Simulation results show the effectiveness of the novel hinge structures and the performance of the proposed design.
목차
Abstract
1. 서론
2. Stage의 구조 및 특성
2.1 Stage의 기계적 구조
2.2 Stage의 증폭 비율
2.3 Cross hinge 설계 원리
3. 시뮬레이션 결과
3.1 Cross hinge 시뮬레이션 결과
3.2 Motion stage 시뮬레이션 결과
4. 결론
참고문헌
키워드
나노정밀 Piezoelectric element Motion stage Cross Hinge Flexure Hinge저자
간행물 정보
발행기관
-
- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
-
- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
이 권호 내 다른 논문 / 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) 제14권 제1호
피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)
함께 이용한 논문 이 논문을 다운로드한 분들이 이용한 다른 논문입니다.
출처 : 네이버학술정보
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.