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IBAD-MgO 기판상에 플라즈마를 이용한 LaMnO3 저온 증착
Low temperature deposition of LaMnO3 on IBAD-MgO template assisted by plasma

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  • 발행기관
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) 바로가기
  • 간행물
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    Vol.14 No.1 (2012.03)바로가기
  • 페이지
    pp.1-3
  • 저자
    김호섭, 오상수, 하동우, 하홍수, 고락길, 문승현
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A171602

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원문정보

초록

영어
LMO(LaMnO3) buffer layer of superconducting coated conductor was deposited on IBAD-MgO template in the plasma atmosphere at 650 oC which is relatively low compared with conventional deposition temperature of more than 800 oC. Deposition method of LMO was DC sputtering, and target and deposition chamber were connected to the cathode and anode respectively. When DC voltage was applied between target and chamber, plasma was formed on the surface of target. The tape substrate was located with the distance of 10 cm between target and tape substrate . When anode bias was connected to the tape substrate, electrons were attracted from plasma in target surface to the tape substrate, and only tape substrate was heated by electron bombardment without heating any other zone. The effect of electron bombardment on the surface of substrate was investigated by increasing bias voltage to the substrate. We found out that the sample of electron bombardment had the effect of surface heating and had good texturing at low controlling temperature.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 본론
  2.1. 실험 장치
 3. 실험
  3.1. 실험과정
  3.2. 실험결과
 4. 결론
 참고문헌

키워드

superconducting coated conductor buffer layer LaMnO3 plasma assisted. DC sputtering

저자

  • 김호섭 [ H. S. Kim | 정회원, 한국전기 연구원 초전도연구센터 연구원 ] 교신저자
  • 오상수 [ S. S. Oh | 정회원, 한국전기 연구원 초전도연구센터 연구원 ]
  • 하동우 [ D. W. Ha | 정회원, 한국전기 연구원 초전도연구센터 연구원 ]
  • 하홍수 [ H. S. Ha | 정회원, 한국전기 연구원 초전도연구센터 연구원 ]
  • 고락길 [ R. K. Ko | 정회원, 한국전기 연구원 초전도연구센터 연구원 ]
  • 문승현 [ S. H. Moon | 정회원, (주)서남 대표이사 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) [The Korean Society of Superconductivity and Cryogenics (KSSC)]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    공학>전기공학
  • 소개
    21세기 핵심기술인 초전도공학과 저온공학분야의 기술 수준을 향상시키고, 선진 외국의 관련 학회와의 국제 교류 뿐만 아니라 이 분야에서 산.학.연의 학술활동 및 기술교류의 구심점으로의 그 역할을 성실히 수행하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) [Progress in Superconductivity and Cryogenics]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1229-3008
  • eISSN
    2287-6251
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재,SCOPUS
  • 십진분류
    KDC 427 DDC 537

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